ULVAC Vietnam Representative Office
SC1 시리즈 냉음극형 진공 게이지
G-TRAN SC1 시리즈는 마그네트론 방식의 냉음극형 진공 게이지입니다. 필라멘트를 사용하지 않아 게이지 교체 주기가 길고, 유지보수가 용이하여 기업의 유지관리 비용을 절감할 수 있습니다
특징
프로브의 기술적 특징
압력 표시가 필요하지 않은 경우 다음과 같은 장점을 제공합니다.
- 디스플레이를 제거하여 진공 측정 비용 절감
- 소형화된 설계로 제어반 내 설치 공간 확보
- 배선 간소화
- 유지보수가 대폭 간소화
- 필라멘트 제거: 대기압에 노출되어도 손상되지 않음
- 제어 출력 신호: 2개의 설정값(Set Point) 출력
- 출력 신호: 압력 판독값을 **0~10 V 로그 출력(비선형 출력)**으로 제공
응용 분야
- 반도체, 광학 및 전자 부품 제조에 사용되는 정밀 진공 장비의 압력 범위 내 공정 제어
- **진공 소결로(Vacuum Furnace)**와 같은 산업용 장비의 고진공 영역에서의 공정 제어
- 인라인 스퍼터링 장비 및 단일 웨이퍼 처리 장비와 같은 다중 처리 챔버 진공 시스템의 압력 범위 내 공정 제어
사양
| Type | Sensor unit | ||
| Model | SC1 | ||
| Compatible sensor head | C-21、23、24、25 | ||
| Measurement pressure range | 1.0×10-5 to 1.0 Pa | ||
| 7.5×10-8 to 7.5×10-3 Torr | |||
| 1.0×10-7 to 1.0×10-2 mbar | |||
| Accuracy | ＋100%,－50%（1.0×10-4 to 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%,－50%（7.5×10-7 to 7.5×10-4 Torr） | |||
| ＋100%,－50%（1.0×10-6 to 1.0×10-3 mbar） | |||
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 10VDC | ||
| Control input signal | HV ON/OFF | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| Control output signal | Open collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2 | ||
| LED display | POWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2 | ||
| Operating temperature range | 10 to 40℃（50 to 104°F） | ||
| Operating humidity range | 15 to 80%（not condensing） | ||
| Power supply voltage | DC24V±2V, 150mA | ||
| Input/Output connector | D-sub-15pin（M2.6 screw） | ||
| Weight | 430g（Excluding sensor head） | ||
| Standard accessories | Input/Output connector 1pc | ||
| Quick manual 1pc |
* IO 및 아날로그 GND는 전원 GND와 절연되어 있지 않습니다.
