ULVAC

ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT LẠNH DÒNG SC1

G-TRAN dòng SC1 là một máy đo chân không catot lạnh kiểu magnetron. Vì không sử dụng dây tóc, nên đảm bảo tuổi thọ kéo dài giữa các lần thay thế đồng hồ đo. Bảo trì dễ dàng, giảm chi phí cho doanh nghiệp.

ĐẶC ĐIỂM

  • Đặc điểm kỹ thuật đầu dò

    Khi không yêu cầu hiển thị áp suất, có thể đạt được những ưu điểm sau: 

        – Giảm chi phí đo chân không vì màn hình đã được loại bỏ 

        – Kích thước nhỏ hơn giải phóng không gian bảng điều khiển 

        – Hệ thống dây điện được giảm bớt

  • Bảo trì đơn giản hóa rất nhiều
  • Filament được loại bỏ: Không bị hư hại khi tiếp xúc với áp suất khí quyển
  • Tín hiệu đầu ra điều khiển: 2 đầu ra điểm đặt
  • Tín hiệu đầu ra: Đọc áp suất là đầu ra Nhật ký 0 đến 10V (đầu ra phi tuyến tính)

ỨNG DỤNG

  • Kiểm soát quá trình trong phạm vi áp suất của thiết bị chân không chính xác được sử dụng cho sản xuất chất bán dẫn, quang học và linh kiện điện tử 

  • Kiểm soát quy trình trong phạm vi chân không sâu cho các thiết bị công nghiệp như lò nung 

  • Kiểm soát quá trình trong phạm vi áp suất cho các hệ thống chân không có nhiều buồng xử lý, chẳng hạn như thiết bị xử lý phún xạ nội tuyến và thiết bị xử lý wafer đơn  

BẢNG TIÊU CHUẨN

TypeSensor unit
ModelSC1
Compatible sensor headC-21、23、24、25
Measurement pressure range1.0×10-5 to 1.0 Pa
7.5×10-8 to 7.5×10-3 Torr
1.0×10-7 to 1.0×10-2 mbar
Accuracy+100%,-50%(1.0×10-4 to 1.0×10-1 Pa)
+100%,-50%(7.5×10-7 to 7.5×10-4 Torr)
+100%,-50%(1.0×10-6 to 1.0×10-3 mbar)
Measurement value outputNonlinear output: 0 to 10VDC
Pressure setting adjustment monitorNonlinear output: 0 to 10VDC
Control input signalHV ON/OFF
Control output signalOpen collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2
Control output signalOpen collector output, negative logic Confirmation of electrical dischargel / Setpoint actuating signal 1/2
LED displayPOWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2
Operating temperature range10 to 40℃(50 to 104°F)
Operating humidity range15 to 80%(not condensing)
Power supply voltageDC24V±2V, 150mA
Input/Output connectorD-sub-15pin(M2.6 screw)
Weight430g(Excluding sensor head)
Standard accessoriesInput/Output connector 1pc
Quick manual 1pc

* IO và GND tương tự không được cách ly khỏi GND nguồn.