冷阴极真空计 SC1 系列

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G-TRAN 系列 SC1 为磁控管型冷阴极真空计。由于不使用灯丝，保证了真空规更换间隔的长寿命。需要维护，但其维护简便，从而降低了拥有成本。

特点

传感器规格
当不需要压力显示时，可实现以下优势：
– 由于取消了显示，真空规成本降低
– 尺寸更小，节省控制面板空间
– 布线减少
维护大大简化
无灯丝：避免因暴露于大气压而受损
控制输出信号：2 个设定点输出
输出信号：压力读数为 0～10V 对数输出（非线性输出）
电源电压：DC24V 供电

应用

用于半导体、光学及电子元件制造的精密真空设备压力范围内的工艺控制
用于工业设备（如真空炉）的低真空范围工艺控制
用于具有多个工艺腔体的真空系统（如在线溅射和单片加工设备）的压力范围工艺控制

技术参数

类型		传感单元
型号		SC1
兼容传感头		C-21、23、24、25
测量压力范围		1.0×10^-5 ~ 1.0 Pa
		7.5×10^-8 ~ 7.5×10^-3 Torr
		1.0×10^-7 ~ 1.0×10^-2 mbar
精度		＋100%,－50%（1.0×10^-4 ~ 1.0×10^-1 Pa）
		＋100%,－50%（7.5×10^-7 ~ 7.5×10^-4 Torr）
		＋100%,－50%（1.0×10^-6 ~ 1.0×10^-3 mbar）
测量值输出		非线性输出 0–10 VDC
压力设定调节监视		非线性输出 0–10 VDC
控制输入信号		HV 开/关
控制输出信号		开集电极输出，负逻辑（放电确认 / 设定点动作信号 1/2）
LED 显示		POWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2
使用温度范围		10–40℃ (50–104℉)
使用湿度范围		15–80%（无冷凝）
电源电压		DC24V±2V, 150mA
输入/输出连接器		D-sub15 针（M2.6 螺钉）
重量		430g（不含传感头）
标准附件		输入/输出连接器 1 件
		快速手册 1 本

＊I/O 和模拟地未与电源地隔离。