고온 음극형 진공 게이지 ST200 시리즈

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새로운 타입의 프로브인 G-RTAN 시리즈 Multi Ionization Gauge는 다양한 종류의 센서 헤드를 연결할 수 있습니다. 본 제품은 3극관 방식의 이온화 게이지(Triode Ionization Gauge)로, 감도가 낮아지는 진공 게이지에 가혹한 환경에서도 안정적인 측정이 가능하며, 기존 제품보다 긴 수명을 제공합니다. 또한 긴 수명과 낮은 운영 비용을 실현하여 사용자의 편의성을 향상시킨 제품입니다.

특징

ULVAC만의 독자적인 콘셉트
- 적용 용도에 따라 서로 다른 측정 범위의 센서 헤드를 연결할 수 있습니다.
컴팩트한 설계
- 기존 모델 대비 크기를 대폭 축소하여 컨트롤러 부피를 약 56% 감소시켰습니다.
- 세계 최소형급의 컴팩트한 설계를 실현했습니다.
높은 사용 편의성
- PC 또는 Android 기기에 연결하여 설정값 입력, 상태 확인 등의 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다.
다양한 출력 및 통신 방식 지원
- 아날로그 출력 및 시리얼 통신 사양뿐만 아니라 EtherCAT 사양도 선택할 수 있습니다.
세계 최초 금속형 3극관 이온화 게이지
- 가혹한 환경에서도 긴 수명을 유지하며, 유리관 타입과 같은 파손에 대한 우려를 줄였습니다.
필라멘트 수명 알림 기능
- 필라멘트의 출력 상태를 확인하여 이온화 진공 게이지의 수명이 다하기 전에 사전 경고를 제공합니다.
넓은 측정 범위
- 옵션 장치인 SWU10-R과 함께 사용할 경우, 대기압부터 초고진공 영역까지 1 × 10⁵ ~ 1 × 10⁻⁵ Pa의 넓은 압력 범위를 측정할 수 있습니다.
정밀한 대기압 센서
- 옵션 장치인 SAU를 사용하면 챔버 개방을 위한 대기압 상태를 정확하게 확인할 수 있습니다

적용 분야

OLED 패널용 진공 장비의 최종 압력 확인 및 공정 제어
진공로(Vacuum Furnace) 등 진공 장비의 최종 압력 측정
탄화수소가 풍부한 분위기에서의 압력 측정
센서 헤드의 정기적인 교체가 필요한 용도
부식성 가스(할로겐 가스)를 사용하는 경우에는 별도 문의 바랍니다.

사양

Model		ST200-A	ST200-R	ST200-E (scheduled for release)
Type		Analog output type	Serial communication type	EtherCAT communication type
Applicable ionization gauge sensor head		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
Connectable sensors		Multi ionization gauge ST200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option)
Repeatability(N₂)		ST200 simple mode: ±2％
Sampling time		60 ms, 5x moving average
Value output		Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
Update time		60msec
Control input signals		FIL ON/OFF、FIL　1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic	–	–
Control output signals		Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24V_MAX、50mA_MAX Saturation voltage:1V	–	–
Communication type		–	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED display		POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode)
Emission current		2mA (1×10^-2Pa or lower), 10μA (1×10^-2Pa or higher)
Degas Method		Electron bombard type 2mA, 330V
Maximum pressure of sensor		2×10⁺⁵Pa (1.5 x 10⁺³ Torr, 2 x 10⁺³ mbar) (Absolute pressure)
Internal volume of sensor		17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
Operating temperature range		10 to 50℃ (50 to 122℉)
Operating humidity range		15 to 80% (not condensing)
Storage temperature		-20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing)
IP rating		IP30
Power supply voltage		DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W
Input/output connector		D-sub15-pin (M2.6 screw)
Weight		Sensor unit: approx. 280g, sensor head(SWT-16, SWT-25): 80g
Dimension W x D x H		69mm×63mm×90mm (sensor unit only)
Applicable standard		CE
Option	Multi Ionization Gauge Sensor head	SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25） Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y₂O₃ Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating
	Pirani Vacuum Gauge	SWU10-R *Previous model SPU also available
	Pirani Vacuum Gauge Sensor head	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder
	Pressure switch	SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L
	Unit cable	GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m
	Display unit	1CH：ISG1(DC24V)
	Display cable	Cable betweeen ST200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	Connector	I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw))
	Others	Test certificate, Calibration certificate

ST200 시리즈는 사용 목적에 따라 3가지 옵션으로 구성할 수 있습니다. Multi Ionization Gauge만 사용하는 싱글 타입, Multi Ionization Gauge와 Pirani Gauge(SWU10-R)를 조합한 듀얼 타입, 그리고 Multi Ionization Gauge, Pirani Gauge(SWU10-R) 및 압력 스위치(SAU)를 조합한 트리플 타입을 제공합니다.

Mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E Simple mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R Combination mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode
Measurable pressure range	1.0×10^-5 to 1.0×10⁺¹Pa	1.0×10^-5to 1.0×10⁺⁵Pa	1.0×10^-5 to 1.0×10⁺⁵Pa
Accuracy	1.0×10^-4to 3.0×10⁺⁰Pa： ±10%	1.0×10^-4to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	1.0×10^-4to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･Base temperature: 25℃)
Connection image
Measurable pressure range image	ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT NÓNG DÒNG ST200 Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber.