ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG HOT CATOT DÒNG ST200

Home / Sản phẩm / Cấu kiện chân không / Đồng hồ đo chân không / ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT NÓNG DÒNG ST200

Dòng đầu dò kiểu mới "G-RTAN series Multi Ionization Gauge" có khả năng kết nối với các đầu cảm biến loại khác nhau. Sản phẩm này là máy đo ion hóa loại triode, có khả năng đo ổn định tuổi thọ cao hơn trong môi trường khắc nghiệt đối với máy đo chân không vì độ nhạy thấp bị suy giảm. Được cải tiến để thân thiện hơn với người dùng với tuổi thọ cao và chi phí vận hành thấp.

đặc điểm

Khái niệm riêng của ULVAC: Có khả năng kết nối các đầu cảm biến dải đo khác nhau tùy theo ứng dụng.
Nhỏ gọn: Thu nhỏ đáng kể so với dòng trước (giảm 56% âm lượng bộ điều khiển). Hạng nhỏ nhất thế giới.
Khả năng sử dụng cao: Thiết lập cài đặt điểm, kiểm tra tình trạng, v.v. bằng cách kết nối PC/Android.
Lựa chọn lớn hơn: Có sẵn thông số EtherCAT ngoài thông số đầu ra tương tự và thông số giao tiếp nối tiếp.
Máy đo độ ion hóa triode loại kim loại đầu tiên trên thế giới: Tuổi thọ cao ngay cả khi ở trong môi trường khắc nghiệt và không lo bị hư hỏng như loại thủy tinh.
Chức năng thông báo tuổi thọ của dây tóc: Có thể thực hiện cảnh báo trước trước tuổi thọ của máy đo chân không ion hóa bằng cách xem công suất của dây tóc.
Phạm vi đo rộng: Có thể đo từ áp suất khí quyển đến chân không cực mạnh (1 x 10 + 5 đến 1 x 10-5Pa) (khi sử dụng với thiết bị tùy chọn SWU10-R).
Cảm biến áp suất khí quyển chính xác: Có thể kiểm tra áp suất khí quyển để mở buồng (khi sử dụng với SAU đơn vị tùy chọn).

ứng dụng

Kiểm tra áp suất cuối cùng hoặc kiểm soát quá trình cho thiết bị chân không cho bảng cảm ứng OLED.
Kiểm tra áp suất cuối cùng cho thiết bị chân không cảm ứng như lò chân không.
Phép đo trong khí quyển giàu hydrocacbon.
Trong trường hợp chu kỳ thay thế đầu cảm biến đó là bắt buộc.

* Vui lòng liên hệ trong trường hợp sử dụng khí ăn mòn (khí halogen).

bảng tiêu chuẩn

Model		ST200-A	ST200-R	ST200-E (scheduled for release)
Type		Analog output type	Serial communication type	EtherCAT communication type
Applicable ionization gauge sensor head		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
Connectable sensors		Multi ionization gauge ST200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option)
Repeatability(N₂)		ST200 simple mode: ±2％
Sampling time		60 ms, 5x moving average
Value output		Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
Update time		60msec
Control input signals		FIL ON/OFF、FIL　1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic	–	–
Control output signals		Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24V_MAX、50mA_MAX Saturation voltage:1V	–	–
Communication type		–	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED display		POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode)
Emission current		2mA (1×10^-2Pa or lower), 10μA (1×10^-2Pa or higher)
Degas Method		Electron bombard type 2mA, 330V
Maximum pressure of sensor		2×10⁺⁵Pa (1.5 x 10⁺³ Torr, 2 x 10⁺³ mbar) (Absolute pressure)
Internal volume of sensor		17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
Operating temperature range		10 to 50℃ (50 to 122℉)
Operating humidity range		15 to 80% (not condensing)
Storage temperature		-20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing)
IP rating		IP30
Power supply voltage		DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W
Input/output connector		D-sub15-pin (M2.6 screw)
Weight		Sensor unit: approx. 280g, sensor head(SWT-16, SWT-25): 80g
Dimension W x D x H		69mm×63mm×90mm (sensor unit only)
Applicable standard		CE
Option	Multi Ionization Gauge Sensor head	SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25） Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y₂O₃ Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating
	Pirani Vacuum Gauge	SWU10-R *Previous model SPU also available
	Pirani Vacuum Gauge Sensor head	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder
	Pressure switch	SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L
	Unit cable	GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m
	Display unit	1CH：ISG1(DC24V)
	Display cable	Cable betweeen ST200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	Connector	I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw))
	Others	Test certificate, Calibration certificate

Dòng ST200 có ba tùy chọn; chế độ đơn giản với máy đo đa ion hóa, chế độ kết hợp với máy đo đa ion hóa và máy đo pirani (SWU10-R) và chế độ kết hợp ba với máy đo đa ion hóa, máy đo pirani (SWU10-R) và công tắc áp suất (SAU)

Mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E Simple mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R Combination mode	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode
Measurable pressure range	1.0×10^-5 to 1.0×10⁺¹Pa	1.0×10^-5to 1.0×10⁺⁵Pa	1.0×10^-5 to 1.0×10⁺⁵Pa
Accuracy	1.0×10^-4to 3.0×10⁺⁰Pa： ±10%	1.0×10^-4to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	1.0×10^-4to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･Base temperature: 25℃)
Connection image
Measurable pressure range image	Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber.