LR/HR/UR 시리즈 드라이 진공 펌프
ULVAC의 LR/HR60/90/180/300/600/1200 및 UR1200 드라이 진공 펌프는 펌프 본체 내부에서 발생하는 열을 활용하는 독자적인 기술을 통해, LR/HR/UR 시리즈가 가장 까다로운 공정 조건에서도 안정적으로 작동할 수 있도록 설계되었습니다. ULVAC은 펌프의 모든 단계에서 매우 균일한 고온 상태를 유지할 수 있도록 설계에 집중하였으며, 이를 통해 본 시리즈는 CVD 및 식각 공정에 최적화된 진공 펌프입니다.
특징
- 저온 펌핑: LR 시리즈 드라이 진공 펌프는 Load Lock 공정 및 PVD 공정을 위해 설계되었습니다. 반면 HR 시리즈는 CVD 및 식각 공정용으로 설계되었습니다.
- UR 시리즈 펌프는 가열이 필요한 펌프, 가열 가스 라인 및/또는 가열 배기 라인이 요구되는 애플리케이션에 적합합니다.
- 뛰어난 헬륨 배기 성능: 캔드 모터 적용으로 안전성이 높고 유지보수가 용이합니다.
- 정전 보호 기능: 최대 1000 ms 동안의 전원 차단 상황에서도 펌프 운전이 가능합니다.
- 내부 부품은 특수 표면 처리되어 높은 표면 경도와 내식성을 제공합니다. 이를 통해 부식성 가스에 노출되는 내부 부품의 마모를 방지합니다.
- 펌프 데이터에는 알람 정보가 포함되며 외부 출력이 가능합니다. 확장된 펌프 제어 기능을 제공합니다.
- CE 마크 적용 가능: 요구 사항에 따라 CE 마크 대응이 가능합니다.
응용 분야
• CVD 또는 식각 공정, PVD 공정, 증착 공정 및 진공 열처리로 등의 다양한 응용 분야에 적합하도록 설계되었습니다. 또한 Si 결정 성장로와 같은 장비에서 발생하는 분말 생성 공정 가스 처리에도 적용 가능합니다.
사양
| 모델 | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR300 | LR/HR600 | UR600 | LR/HR1200 | UR1200 | ||
| 펌프 | DRP | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR60 | LR/HR90 | UR90 | LR/HR90 | UR90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 최대 배기 속도 | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 최대 압력 | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 최대 흡입 압력 | A/s khí quyển * | ||||||||||||
| 최대 배기 압력 | 1.0 tới Áp suất khí quyển | ||||||||||||
| 흡입구 직경 (CE 타입) | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 배기구 직경 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| DRP: 로터 표면 처리 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| MBP: 로터 표면 처리 | – | – | – | – | – | – | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 중량 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 전원 | 3 Pha | VAC (Hz) | 200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| 전류 | 최대 압력에서 | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 최대 부하 | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 냉각수 공급 압력 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| 냉각수 입출구 압력 차 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| 냉각수 유량 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| N₂ 가스 | 압력원 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| 설정 압력 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| 질소 가스 필터 | 필터 엘리먼트 | SLM | 5 | ||||||||||
| 가스 밸러스트 | SLM | 0～45 | 없음*1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
주의
- 주문 시 전압을 반드시 지정해 주십시오.
- LR 펌프는 펌프 본체의 저온 운전을 위해 설계되었으며, HR 시리즈는 펌프 본체의 고온 운전을 위해 설계되었습니다. UR 시리즈는 펌프 본체의 초고온 운전에 적합하도록 설계되었습니다.
- HR300, HR600, HR1200, UR600, UR1200, UR1800 및 UR3601-TT 모델은 모두 200 Pa (1.5 Torr) 이하의 압력 조건에서 운전해야 합니다.
- LR3601-R / TR / TTR은 고압 영역에서 배기 성능을 향상시킨 모델입니다.
- 〇 = 적용 있음 / × = 적용 없음
- ※ LR300, LR600, LR1200, LR1800의 MBP는 표면 처리 적용 여부를 선택할 수 있습니다.
- 또한 Gas ballast를 적용한 펌프의 견적도 가능합니다. 제품 선정 및 견적 문의는 당사로 연락해 주십시오.
소음기 (옵션)
| Model | 재질 | 표면 처리 | 중량 (kg) | 접속 플랜지 |
| RS-01 | SUS304 | GBB 처리 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB 처리 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 연마 플레이트 | 12.5 | NW50 |
인증 표준
| KIT 타입 | 대응 | 클램프 | 외부 가스켓 | 접속 플랜지 | 스테이 |
| RS-01 kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
ULVAC은 드라이 진공 펌프 제품을 공급할 뿐만 아니라, ULVAC 엔지니어가 베트남 현지에서 해당 드라이 펌프의 유지보수 및 수리를 직접 수행합니다. 또한 24시간 대응 서비스를 통해 장비 정지로 인한 문제 해결을 지원합니다.
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