ULVAC Vietnam Representative Office
LR/HR/URシリーズ ドライ真空ポンプ
LR/HR60/90/180/300/600/1200およびUR1200シリーズは、ドライポンプ本体内部で発生する熱を効果的に利用する設計により、最も厳しいプロセス条件下でも優れた性能を発揮します。 ULVACは、ポンプ内部の各ステージにおいて極めて均一な高温状態を維持できるよう設計を最適化しており、CVDやエッチングプロセスに最適なドライ真空ポンプを実現しました。
ドライ真空ポンプの特長
● 用途に応じた最適な温度仕様
LRシリーズはロードロックおよびPVDプロセス向け、HRシリーズはCVDおよびエッチングプロセス向けに設計されています。
URシリーズは、ポンプ本体、ガスライン、排気ラインの加熱を必要とするプロセス向けに設計されています。● 優れたヘリウム排気性能
密閉型モーター（キャンドモーター）を採用し、高い信頼性と優れたメンテナンス性を実現しています。● 停電保護機能
最大1000msの瞬時停電にも対応し、安全な運転を維持します。● 優れた耐食性・耐摩耗性
ポンプ内部部品には特殊表面処理を施し、高い表面硬度と耐食性を実現しています。腐食性ガスによる内部部品の摩耗を効果的に抑制します。● ポンプデータの監視・出力機能
アラーム情報を含むポンプデータの出力が可能です。また、拡張ポンプコントロール機能にも対応しています。● CEマーキング対応
ご要望に応じてCEマーキング仕様をご提供します。
用途
● CVDやエッチングプロセス、PVD、蒸着、真空熱処理炉向けに設計されています。
また、Si結晶成長炉などのプロセスにおいて、副生成物として粉体が発生するガスの排気にも対応しています。
仕様
| 型式 | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR300 | LR/HR600 | UR600 | LR/HR1200 | UR1200 | ||
| ポンプ | DRP | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR60 | LR/HR90 | UR90 | LR/HR90 | UR90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 最大排気速度 | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 最高使用圧力 | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 最大吸入圧力 | A/s khí quyển * | ||||||||||||
| 最大吐出圧力 | 1.0 tới Áp suất khí quyển | ||||||||||||
| 吸気口径（CE仕様） | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排気口径 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| DRP：ローター表面処理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| MBP：ローター表面処理 | – | – | – | – | – | – | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 重量 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 電源 | 3 Pha | VAC (Hz) | 200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| 電流値 | 最大圧力時 | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 最大負荷 | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 冷却水圧力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| 冷却水入口・出口間差圧 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| 冷却水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| N₂ガス | 供給圧力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| 規定圧力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| N₂ガスフィルター | フィルター軸 | SLM | 5 | ||||||||||
| ガスバラスト | SLM | 0～45 | Không có *1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
注意
ご注文時に電源電圧をご指定ください。
LRシリーズはポンプ本体の低温運転用に設計されています。HRシリーズはポンプ本体の高温運転用、URシリーズはポンプ本体の超高温運転用として設計されています。
HR300、HR600、HR1200、UR600、UR1200、UR1800およびUR3601-TTは、200Pa（1.5 Torr）以下で運転する必要があります。
LR3601-R / TR / TTRは、高圧力領域における排気性能を向上させたモデルです。
〇：あり ×：なし
※ LR300、LR600、LR1200、LR1800のMBPについては、表面処理の有無を選択できます。
また、ガスバラスト仕様のポンプについてもお見積り可能です。選定およびお見積りにつきましては、お問い合わせください。
サイレンサー（オプション）
| Model | 材質 | 表面処理 | 重量（kg） | 接続フランジ |
| RS-01 | SUS304 | GBB処理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB処理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 研磨板（けんまいた） | 12.5 | NW50 |
承認表
| キットタイプ | 対応 | クランプ | 外側ガスケット | 接続フランジ | ステー |
| RS-01 kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
ULVACでは、ドライ真空ポンプの販売だけでなく、ULVACのエンジニアがベトナム国内にて各種ドライポンプのメンテナンスおよび修理サービスを実施しています。装置停止などのトラブルに対して、24時間体制で迅速な復旧をサポートします。
ご相談・お問い合わせをご希望のお客様は、下記のホットラインまでお気軽にお問い合わせください。
