ULVAC Vietnam Representative Office
UTM1200A, UTM1600A, UTM2300A, UTM3400A 모델 터보 분자 펌프
UTM-MI는 자기 베어링이 통합된 터보 분자 펌프 컨트롤러로, 배선 작업을 줄이고 설치 공간을 절약할 수 있습니다.
특징
- 펌프 본체와 일체형으로 통합된 컨트롤러: 펌프 본체와 컨트롤러 사이의 별도 배선 작업이 필요하지 않습니다.
- 자유로운 설치 방향: 설치 방향에 제한이 없어 시스템을 유연하게 설계할 수 있습니다.
- 5가지 모델 구성: 1,000 L/s부터 4,000 L/s까지 총 5가지 모델을 제공합니다.
- 넓은 작동 범위와 높은 유량: 경공정에 적합한 넓은 작동 범위와 높은 유량을 제공합니다.
- 펌프 회전 속도 25%~100% 가변: 챔버 내부의 압력을 조절할 수 있습니다.
- 높은 내구성과 안전성: 공기 유입 시험 및 터치다운(Touchdown) 시험 등 안전성 검증 테스트를 통과했습니다.
응용 분야
- 장비용 메인 진공 펌프
- 반도체 장비
- 증발 및 스퍼터링 시스템
- 분석 장비, 실험 장비 등
- 반응 부산물이 발생하지 않는 경공정용 메인 진공 펌프
- 오일 확산 펌프의 대체용
- 고진공 배기 시스템용 공용 펌프
사양
| Model | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
| Inlet port | VG150 ISO160F | VG200/VG250 ISO200F/ISO250F | VG250 ISO250F | VG300/VG350 ISO320F | ||
| Outlet port | KF40 | |||||
| Ultimate pressure(*1) | Pa | 10-7 | ||||
| Pumping speed (*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
| Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
| H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
| Compression rate | N2 | 2×108 | ≧ 1×108 | ≧ 1×109 | ||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
| Max inlet pressure(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
| Max outlet pressure(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
| Rotation speed | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
| Speed variation | Speed is variable between 25% and 100% of the rated speed.（ set as 0.1%） | |||||
| Start-up time | ≦ 8minutes | ≦ 9minutes | ≦ 16minutes | |||
| Mounting position | In any desired direction | |||||
| Surface treatment(*5) | None | |||||
| Commun ication | Contact | D-sub 25 pin female Contact input and output signal | D-sub 37 pin female Contact input and output signal | |||
| Serial | Serial connecter RS232C/RS485 | D-sub 9 pin male RS232C/RS485 | ||||
| Controller | Composition | Pump with integrated controller | ||||
| Input electric power | Single phase AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||
| Max power | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Cooling water(*6) | Flow rate | L/min | 3～4 | |||
| Pressure | MPaG | 0.2 ～ 0.4 | ||||
| Noise | dB(A) | 57 | 60 | |||
| Weight | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
| Recommended backing pump(*7) | ≧ 600L/min | ≧ 1500L/min | ||||
| Applicable standard | CE、TUVus | |||||
| Standard accessories | O-ring(Only VG)、Dust cap(Outlet port)、Remote-control Connector、Instruction manual(CD-ROM) | |||||
| Select parts | AC Cable | AC Conector / AC Cable(5m/10m/15m/20m) | ||||
| Special bolt for fixing pump | M10(Non-RoHS / RoHS)/ M12(Non-RoHS / RoHS) | |||||
| Special bolt for fixing pump | Need（M10）（*8） | Not Need（*8） | ||||
| Option | Gas purge adaptor (KF10) | |||||
UTM-MI 터보 분자 펌프 주의사항
1 : 수치로 표시됩니다.
2 : 보호 그리드는 사용하지 않습니다.
3 : 계산값입니다. UTM2300A 및 UTM3400A에 해당합니다.
4 : 최대 입구 압력과 최대 출구 압력을 동시에 만족할 수 없습니다.
5 : 반응성 가스 및 부식성 가스는 사용하지 마십시오. 기타 가스를 사용하는 경우 당사에 문의해 주십시오.
6 : 응축성이 없는 가스에 한합니다.
7 : 30 SCCM을 흡입하는 조건에서의 값입니다.
8 : 볼트 등급, 고정 방법 등은 사용 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 자세한 사항은 당사에 문의해 주십시오.
