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SX 시리즈 배치형 스퍼터링 시스템
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진공 스퍼터링 시스템
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SX 시리즈 배치형 스퍼터링 시스템
SX 시리즈는 연구·개발(R&D) 및 소량 생산용 배치 타입 스퍼터링 시스템입니다.
특징
PC를 통한 진공 배기 및 증착 자동 제어
코스퍼터링(Co-sputtering) 방식
적용 가능
(전원 공급 장치 추가 시 옵션)
PC를 통한 공정 데이터 로깅
응용 분야
연구·개발(R&D)
중소량 생산
