ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG SPUTTERING DẠNG MẺ DÒNG SX

Hệ thống phún xạ kiểu mẻ SX là hệ thống phún xạ kiểu mẻ để nghiên cứu & phát triển và ứng dụng sản xuất nhỏ.

ĐẶC ĐIỂM

  • Tự động điều khiển bơm chân không và lắng đọng bằng PC
  • Được thiết kế cho ứng dụng phương pháp co-sputtering (mục tùy chọn bằng cách thêm nguồn điện)
  • Ghi dữ liệu bằng PC

ỨNG DỤNG

  • Nghiên cứu và phát triển
  • Sản xuất vừa và nhỏ