ULVAC Vietnam Representative Office
진공 부품
ULVAC는 진공 기술을 응용한 장비를 제조하는 전문 기업입니다. 또한 고객에게 보다 다양한 제품을 제공하기 위해 진공 장비뿐만 아니라 다양한 진공 관련 부품 및 구성품의 개발에도 주력하고 있습니다. ULVAC는 진공 밸브, 진공계, 엔드 스테이션 등의 구성품부터 진공 펌프, 헬륨 누설 검사 장비, 각종 계측 및 분석 장비에 이르기까지 다양한 제품을 폭넓게 제공하고 있습니다.
진공 펌프
ULVAC의 진공 펌프는 진공 기술 분야에서 약 100년에 걸쳐 축적해 온 탄탄한 기술력과 풍부한 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 오일식 로터리 진공 펌프와 드라이 진공 펌프를 비롯하여, 부스터 펌프, 다이어프램 펌프, 피스톤 펌프 등 다양한 분야와 조건 및 용도에 적합한 폭넓은 제품을 제공하고 있습니다.
미니 진공 펌프
대형 진공 펌프뿐만 아니라 다양한 고객의 요구에 대응할 수 있도록 소형 진공 펌프도 생산하고 있습니다. 또한 ULVAC은 지금까지 수십만 대에 달하는 진공 펌프를 생산하여 전 세계 유명 기업의 공장에 공급해 왔으며, 이러한 풍부한 실적을 자랑하고 있습니다.
헬륨 누설 검사 장비
HELIOT900은 ULVAC이 자체적으로 연구·개발 및 제조한 헬륨 누설 검사 장비입니다. 초고정밀 성능과 강력한 사양을 갖추고 있으며, 모델에 따라 대유량 흡입이 가능합니다.
또한 반도체 분야에 적합한 드라이(Dry) 타입과 일반적인 산업 분야에 적합한 웻(Wet) 타입을 제공합니다. 특히 무선(Wireless) 기술을 적용하여 디스플레이와 본체를 무선으로 연결할 수 있어 사용자가 보다 편리하고 안정적으로 장비를 사용할 수 있습니다.
가스 분석기(RGA)
“Qulee”(“KLEE”로 발음)는 ULVAC의 최신 잔류 가스 분석 및 공정 가스 모니터링 장비입니다. 다양한 생산 라인의 현장 엔지니어들의 의견을 제품 설계에 적극 반영하여, 사용 편의성을 극대화한 새로운 제품으로 개발되었습니다.
Qulee는 높은 압력 조건(1 Pa 이하)에서도 높은 정확도와 뛰어난 분해능을 제공합니다.
진공 압력계
ULVAC의 진공 압력계는 진공 분야에서 축적해 온 풍부한 기술력과 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 피라니 진공계부터 이온 진공계, 초고진공 진공계에 이르기까지 다양한 제품을 제공하고 있습니다.
즉, 대기압에서부터 초고진공 영역(10⁻¹² Pa)까지 폭넓은 압력 범위를 측정할 수 있으며, 다양한 산업 분야와 측정 조건 및 용도에 대응할 수 있는 폭넓은 진공 압력계 제품군을 갖추고 있습니다.
오일 필터 / 오일 트랩
오일 로터리 진공 펌프에서 배출되는 오일 미스트를 포집하기 위한 장치입니다.
오일 로터리 진공 펌프를 대기압에서 기동하면 공기가 흡입되어 배기구를 통해 외부로 배출되며, 이 과정에서 일정량의 오일 미스트도 함께 배출될 수 있습니다.
따라서 배기구에 오일 필터/오일 트랩을 추가로 설치하여 배출되는 오일 미스트를 포집하고 회수할 필요가 있습니다.
