ULVAC Vietnam Representative Office
진공 게이지
ULVAC의 진공 게이지는 진공 기술 분야에서 축적된 풍부한 경험과 기술력을 바탕으로 개발되었습니다. Pirani 방식의 진공 게이지부터 이온 진공 게이지, 초고진공 게이지에 이르기까지, 즉 대기압에서 초고진공 영역(10⁻¹² Pa)까지 다양한 압력 범위를 측정할 수 있는 제품 라인업을 갖추고 있습니다. 또한 모든 산업 분야와 다양한 측정 조건 및 응용 분야에 대응할 수 있는 폭넓은 진공 게이지 제품을 제공합니다.
Pirani 방식 진공 게이지
SW1 시리즈
대기압부터 5 × 10⁻² Pa까지 측정할 수 있는 광범위 측정 범위의 Pirani 방식 진공 게이지입니다. 또한 기존 컨트롤러에서 조작 패널과 디스플레이를 제거하고, 필요한 최소한의 기능만 탑재하여 비용과 설치 공간을 절감할 수 있습니다.
GP-G 시리즈
GP-1000G는 기체의 열전도율을 이용하여 작동하는 정온형 Pirani 방식의 진공 게이지입니다. 진공 시스템 제어를 위한 디지털 출력 및 설정값 출력이 기본으로 제공됩니다. 또한 시스템 패널을 효율적으로 활용할 수 있도록 GP-1000G를 더욱 컴팩트하게 설계했습니다.
열음극형 진공 게이지
ST200 시리즈
새로운 타입의 프로브인 G-RTAN Series Multi Ionization Gauge는 다양한 종류의 센서 헤드와 연결하여 사용할 수 있습니다. 본 제품은 3극관형 이온화 진공 게이지로, 감도가 낮아 열화되기 쉬운 기존 진공 게이지에 비해 가혹한 환경에서도 안정적인 측정이 가능하며, 수명이 더욱 향상되었습니다. 또한 긴 수명과 낮은 유지 비용을 실현하여 사용 편의성을 높였습니다.
SH200 시리즈
새로운 타입의 프로브인 G-TRAN Series Multi Ionization Gauge는 다양한 종류의 센서 헤드와 연결하여 사용할 수 있습니다. 본 제품은 B-A형 이온화 진공 게이지로, 초고진공 영역까지 측정할 수 있습니다. 또한 광범위한 측정 범위와 낮은 유지 비용을 실현하여 더욱 사용자 친화적인 제품으로 개선되었습니다.
GI 시리즈
이 시리즈는 열음극형 이온화 진공 게이지로, 3극관 또는 B-A형 센서 헤드를 적용하여 사용할 수 있으며, 금속 게이지(GI-M2)는 9.9~5 × 10⁻⁸ Pa(7.4 × 10⁻²~3.75 × 10⁻¹⁰ Torr, 9.9 × 10⁻²~5 × 10⁻¹⁰ mbar), 유리 게이지(GI-D7)는 6.7 × 10⁻¹~1 × 10⁻⁶ Pa(5 × 10⁻³~9.75 × 10⁻⁹ Torr, 6.7 × 10⁻³~1.3 × 10⁻⁸ mbar)의 압력 범위를 측정할 수 있습니다.
AxTran 시리즈
AxTRAN은 이온원과 이온 컬렉터 사이에 Bessel Box형 에너지 필터를 장착한 열음극형 이온화 진공 게이지입니다. 이 설계는 연 X선 및 전자 자극 탈착(ESD)에 의해 발생하는 잔류 전류를 감소시켜 0.5 × 10⁻¹⁰ Pa의 측정 분해능을 제공합니다.
냉음극형 진공 게이지
SC1 시리즈
G-TRAN Series SC1은 마그네트론 방식의 냉음극형 진공 게이지입니다. 필라멘트를 사용하지 않기 때문에 게이지 교체 주기가 길어져 장기간 사용할 수 있습니다. 또한 유지보수가 간편하여 기업의 유지관리 비용을 절감할 수 있습니다.
CCMT형 진공 게이지
CCMT-D 시리즈
CCMT-D 시리즈는 정전 용량식 진공 게이지로, 기체 압력의 변화에 따라 알루미나(Alumina) 세라믹 다이어프램이 변형될 때 발생하는 정전 용량의 변화를 감지하여 압력을 측정합니다
