BỘ lưỡng cực cho dual catot dòng mfu
BỘ CƯỠNG LỰC CHO DUAL CATOT DÒNG MFU là thiết bị chuyển đổi đầu ra DC thành đầu ra xung lưỡng cực, bằng cách thêm vào máy phát điện DC ULVAC (dòng DPG). Nó góp phần cải thiện năng suất và thông lượng với chi phí thấp.
ĐẶC ĐIỂM
- Dải tần số rộng có thể hoạt động từ 10k ～ 100kHz ※ 1
- Cho phép dung lượng lớn hơn bằng kết nối chủ/tớ có thể hoạt động song song tối đa sáu MFU-20K đầu ra
- DC có thể áp dụng đầu ra của máy phát điện một chiều đầu vào cho catốt trực tiếp ※ 2
ỨNG DỤNG BỘ CƯỠNG LỰC CHO DUAL CATOT DÒNG MFU
- Thiết bị phún xạ phản ứng cho FPD
- Thiết bị phún xạ phản ứng cho lớp phủ công nghiệp
- Thiết bị phún xạ phản ứng cho TFT màu
- Tất cả các thiết bị phún xạ
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | MFU-20K | |
| Control power input | Rated input voltage | AC100V/AC240V |
| Input voltage fluctuation range | AC90 to 264V | |
| Phase, frequency | 1 phase 50/60Hz | |
| Input capacity | 400VA | |
| Input Specification | Operatig voltage | 0 to -1000V※1 |
| Non load voltage | -1200V | |
| Operatig current | 50A | |
| Output Specification | Maximum rated voltage | 1000V（RMS）※1 |
| Non load voltage | DC-1200V | |
| Maximum Rated current | 50A | |
| Oscillating frequency | 10k to 100kHz※2 | |
| Duty cycle | 10 to 90％※3 | |
| Cooling method | Forced air-cooling | |
| Dimension（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（excluding protrusions） | |
| Weight | 37kg | |
| Applicable standard | CE/SEMI F47/RoHS | |
Nhiệt độ hoạt động xung quanh 5 ℃ ～ 40 ℃ (không ngưng tụ）
Môi trường hoạt động: Tránh ánh nắng trực tiếp, nhiệt, bụi, rung và không có khí ăn mòn.
※ 1: Tần số có giới hạn ở điện áp lớn hơn 800V.
2: Đầu ra có giới hạn ở tần số hơn 60kHz.
3: Chu kỳ làm việc bị giới hạn tùy thuộc vào tần số dao động.
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam