ULVAC

QULEE KẾT HỢP VỚI YTP-H MODEL BGM2-101, BGM2-102, BGM2-201, BGM2-202, HGM2-302

Một biến thể của Qulee, bổ sung các tính năng mới để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Bằng cách bổ sung một đơn vị bơm vi sai, Qulee cung cấp khả năng đo lường và phân tích để quản lý quy trình và phân tích khí dư.

đặc điểm

  • Hiệu suất chi phí tuyệt vời

          Cung cấp phân tích khí với một đơn vị bơm vi sai tùy chọn

  • Thiết kế nhỏ gọn

          Sử dụng máy tính để bàn mô hình đơn vị chân không tiêu chuẩn YTP

  • Thiết kế đơn vị hiển thị tích hợp

          Cung cấp dữ liệu trực quan mà không cần PC

  • Dễ vận hành

          Chức năng một lần nhấp để vận hành dễ dàng, không có quy trình phức tạp

  • Phân tích áp suất khí quyển

          Áp suất đo tối đa có thể lựa chọn 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa và 1Pa

          (22,5Torr, 3,75Torr, 0,75Torr, 7,5×10-2Torr và 7,5×10-3Torr/30mbar, 5mbar, 1mbar, 0,1mbar và 1,0×10-2mbar)

  • Chọn một mô hình tùy thuộc vào ứng dụng của bạn

          Chọn từ các số khối từ 1 đến 100 (BGM2-101/102), 1 đến 200 (BGM2-201/202), 1 đến 300 (HGM2-302)

  • Độ ồn thấp

          43dB(A) hoặc thấp hơn ở áp suất cực đại

  • Chỉ báo áp suất

           Được thiết kế để dễ dàng tích hợp 2 đồng hồ đo chân không

  • Chức năng kiểm tra rò rỉ hoàn chỉnh

           Kiểm tra rò rỉ heli, kiểm tra rò rỉ không khí, kiểm tra rò rỉ

  • Qulee QCS Ver.4 (tương thích với Ethernet)

           Phần mềm đi kèm (Windows 7/8/10)

ứng dụng BỘ GIÁM SÁT PHÂN TỬ KHÍ QULEE VÀ YTP

  • Các loại phân tích khí khác nhau phục vụ nghiên cứu và phát triển
  • Giám sát khí của hệ thống PVD trong quá trình xử lý, Phân tích khí dư trong hệ thống PVD
  • Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không cao, v.v.

bảng tiêu chuẩn

Qulee main body

Select from BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302
*Refer to the product catalogue for the specification of Qulee

Software Qulee QCS Ver.4.0(Windows 7 / 8 / 10)

Max sampling pressure

Select from atmospheric pressure 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa

Select from atmospheric pressure 22.5Torr / 3.75Torr / 0.75Torr / 7.5×10-2Torr / 7.5×10-3Torr

Select from atmospheric pressure 30mbar / 5mbar / 1mbar / 0.1mbar / 1.0×10-2mbar

*Atmospheric pressure type can be used only under the atomospheric condition
*3000 to 1Pa (22.5 to 7.5×10-3Torr,30 to 0.01mbar) types can be used under each pressure

Specification pressure

 

 

 

 

 

Vacuum type

Gas introduction type
(3000Pa ~1Pa type)

Manual bellows valve (2 systems: orifice line / direct line)
Mating flange / ICF070

Variable leak valve type

Sampling pressure

Power-supply voltage

AC100-240V

Atmospheric pressure type (Atmospheric pressure sampling unit)
APS-001

 

 

 

Capillary type (100,000Pa type)

 

 

 

Dry pump(Sweep)

6L/min, Ultimate pressure/6700Pa

Controller unit

Temperature contol and On/Off control of cartridge heater, On/Off control of sweep pump

Capillary tube unit

Manual bellows valve (1 line), Cartridge heater, insulation mat, Capillary tube (already mounted), Joint fitting 1/4 ”Swagelok

Power-supply voltage

Select for AC100V/220V

Pump unit desktop YTP

 

 

 

 

Desktop YTP
(YTP70A-D)

 

 

Turbo molecular pump

70L/s (N2)

Dry pump(Roughing)

19L/min(Diaphragm pump)

Power-supply voltage

AC100-240V

Accessories

AC100V power cord(*1), Base stage for DesktopYTP(*2), AC adapter for Qulee, LAN cable(3m) for Qulee, Software installation disc, Bolt set for fixing flange, Gasket (UFC114G,UFC070G), Power strip(*3), Casters(*4), Various fixing screws

Options

Ionization gauge package(SH2-1,Sensor head cable 2m, Cross tube, Bolts,Gaskets), USB-LAN adapter, Switching hub(8 ports or 16 ports)(*5),Floor cart(*6)

CHÚ THÍCH BẢNG TIÊU CHUẨN BỘ GIÁM SÁT PHÂN TỬ KHÍ QULEE VÀ YTP

*1 Vui lòng sử dụng mã nguồn khi sử dụng thiết bị ở nước ngoài hoặc khu vực có điện áp khác với AC100V. Cần có ba mã nguồn cho bộ lấy mẫu áp suất nguyên tử, YTP để bàn và bộ đổi nguồn AC cho Qulee.

*2 Đảm bảo sử dụng đế khi lắp đặt YTP để bàn. Đối với loại áp suất khí quyển, nó có cấu trúc hai tầng để có thể gắn bộ điều khiển.

*3 Ổ cắm điện chỉ có loại áp suất khí quyển/AC100V.

*4 Bánh xe chỉ có loại áp suất khí quyển. Vui lòng tự gắn bánh xe.

*5 Bộ đổi nguồn AC là cần thiết cho một hub chuyển mạch tùy chọn.

*6 Vui lòng tự lắp đặt xe đẩy trên sàn.

*7 YTP để bàn, thân chính Qulee, đầu vào khí và các bộ phận khác sẽ được đóng gói riêng. Vui lòng tham khảo hướng dẫn lắp ráp để biết cách lắp đặt.