BƠM CRYO DÒNG U
Dòng CRYO-U là thiết bị làm lạnh sử dụng bộ làm lạnh GM loại hai giai đoạn và nó có khả năng bơm chân không cao. Một loạt các sản phẩm từ loại nhỏ đến loại lớn có sẵn theo các ứng dụng bao gồm FPD, chất bán dẫn, thiết bị điện tử, quang học và R&D.
ĐẶC ĐIỂM
- Hiệu suất bơm tuyệt vời cho một thùng đông lạnh 4 inch
- Tốc độ bơm cao cải thiện hiệu quả và năng suất bơm.
- Lý tưởng cho quá trình phún xạ của sản xuất chất bán dẫn hoặc các thiết bị quy mô nhỏ khác
- Có thể chạy tối đa bốn thiết bị bởi một máy nén.
● Thiết kế tùy chỉnh có sẵn để phù hợp với nhu cầu của bạn.
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | U4H | U6H | U8H / U8H-U | U8HL | U10H | U12H | U12HL | ||
| Pumping speeds(20degrees) | Nitrogen | L/s | 450 | 750 | 1,700 | 1,500 | 2,400 | 4,000 | 4,000 |
| Hydrogen | 500 | 1,100 | 2,700 | 2,200 | 3,600 | 6,000 | 6,800 | ||
| Argon | 370 | 620 | 1,400 | 1,200 | 2,000 | 3,300 | 3,300 | ||
| Water | 1,100 | 2100 | 4,000 | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 9,500 | ||
| Ultimate pressure | Pa | 10-7 | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| Maximum throughput | Argon | Pa・L/s | 1.3×103 | 1.1×103(7.9) | 1.2×103(8.9) | 1.2×103(8.9) | 8.0×102(6.0) | 2.0×103(15) | 2.0×103(15) |
| Pumping capacity | Argon | Pa・L | 1.0×107 | 1.1×102(0.8) | 2.4×102(1.8) | 1.6×102(1.2) | 1.5×102(1.1) | 4.1×102(3.1) | 4.1×102(3.1) |
| Hydrogen | 1.5×105 | 5.6×107(4.2×105) | 1.0×108(7.6×105) | 1.6×108(1.2×106) | 1.0×108(7.8×105) | 2.1×108(1.6×106) | 3.1×108(2.3×106) | ||
| Cooldown time | min(50/60Hz) | 45/50 | 3.1×105(2.3×103) | 1.0×106(7.6×103) | 1.2×106(9.0×103) | 6.7×105(5.0×103) | 9.8×105(7.4×103) | 9.8×105(7.4×103) | |
| Weight of cryopump | Kg | 14.5 | 19 | 20.8 | 20 | 29 | 40 | 40 | |
| Model | U16 | U16P | U20P | U20H | U22H | U22P | U22WB | U30H | ||
| Pumping speeds(20degrees) | Nitrogen | L/s | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 17,000 | 11,500 | 13,000 | 28,000 |
| Hydrogen | 10,000 | 10,000 | 18,000 | 18,000 | 25,000 | 14,000 | 16,500 | 43,000 | ||
| Argon | 4,200 | 4,200 | 8,400 | 8,400 | 14,000 | 9,700 | 11,000 | 23,000 | ||
| Water | 16,000 | 16,000 | 29,000 | 29,000 | 39,000 | 39,000 | 39,000 | 70,000 | ||
| Ultimate pressure | Pa | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| Maximum throughput | Argon | Pa・L/s | 1.4×103(11.0) | 1.6×103(12) | 1.1×103(8.7) | 1.7×103(12.8) | 4.1×103(31) | 1.7×103(12.8) | 3.5×103(26) | 2.7×103(20) |
| Pumping capacity | Argon | Pa・L | 4.1×102(3.1) | 4.5×102(3.4) | 5.0×102(3.7) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 7.4×102(5.6) |
| Hydrogen | 4.3×108(3.3×106) | 4.3×108(3.3×106) | 5.8×108(4.4×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 7.8×108(5.9×106) | ||
| Cooldown time | min(50/60Hz) | 2.4×106(1.8×104) | 2.4×106(1.8×104) | 4.6×106(3.4×104) | 4.6×106(3.4×104) | 8.5×106(6.4×104) | 6.0×106(4.5×104) | 8.5×106(6.4×104) | 1.5×107(1.1×105) | |
| Weight of cryopump | Kg | 61 | 61 | 69 | 72 | 125 | 115 | 125 | 175 | |
* Khoảng thời gian bảo dưỡng: 16.000 giờ/lần
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam