– Bơm khuếch tán – là thiết bị tạo chân không cao đến siêu cao (từ 10⁻³ đến 10⁻⁸ Torr), hoạt động bằng cách đun sôi dầu chân không để tạo ra luồng hơi mang theo các phân tử khí ra khỏi buồng chân không. Hơi dầu sau đó được ngưng tụ và tái sử dụng. Bơm khuếch tán thường được dùng trong các hệ thống chân không lớn như luyện kim, phủ màng mỏng, sản xuất bán dẫn và kính hiển vi điện tử.
Bơm khuếch tán hoạt động theo cách khác biệt so với các bơm hút khí khác. Đôi khi gây nhầm lẫn cho chúng ta vì nó không có bộ phận quay. Chẳng hạn, như bơm chân không cơ học, nó hút phân tử khí và đẩy nó ra khỏi buồng bằng các phương tiện cơ […]
ZALO 0988248567
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam
