Cách Phát Hiện Rò Rỉ Khí Siêu Nhỏ (< 10⁻⁹ mbar·L/s) Trong Buồng Chân Không Bán Dẫn
Trong ngành sản xuất bán dẫn, đặc biệt ở các quy trình Front-End như khắc khô (Dry Etching), lắng đọng màng mỏng (CVD/ALD) hay cấy ion (Ion Implantation), môi trường chân không siêu cao (UHV) đóng vai trò sống còn. Chỉ một vết rò rỉ khí nano với kích thước < 10⁻⁹ mbar·L/s cũng đủ […]
