Clean Vacuum: Lý do Semiconductor bắt buộc dùng Turbo Pump
Turbo pump quyết định trực tiếp đến khả năng duy trì clean vacuum trong các quy trình như semiconductor và EV battery coating. Chỉ cần một lượng nhiễm bẩn cực nhỏ cũng có thể làm hỏng lớp phủ, giảm hiệu suất, hoặc khiến cả lô hàng bị loại bỏ. Vì vậy, vấn đề không phải […]
