Cách Phát Hiện Rò Rỉ Khí Siêu Nhỏ (< 10⁻⁹ mbar·L/s) Trong Buồng Chân Không Bán Dẫn
Trong ngành sản xuất bán dẫn, đặc biệt ở các quy trình Front-End như khắc khô (Dry Etching), lắng đọng màng mỏng (CVD/ALD) hay cấy ion (Ion Implantation), môi trường chân không siêu cao (UHV) đóng vai trò sống còn. Chỉ một vết rò rỉ khí nano với kích thước < 10⁻⁹ mbar·L/s cũng đủ […]
Nguyên lý hoạt động của máy Leak Test sử dụng khí Heli
Hiện nay, các ngành công nghiệp như pin EV, bán dẫn hay y tế luôn yêu cầu độ kín sản phẩm khắt khe. Chính vì vậy, thấu hiểu nguyên lý của máy leak test sử dụng khí Heli là vô cùng cần thiết. Công nghệ này đi sâu vào bản chất vật lý dòng khí […]
