ULVAC

BỘ lưỡng cực cho dual catot dòng mfu

MFU-20K là thiết bị chuyển đổi đầu ra DC thành đầu ra xung lưỡng cực, bằng cách thêm vào máy phát điện DC ULVAC (dòng DPG). Nó góp phần cải thiện năng suất và thông lượng với chi phí thấp.

ĐẶC ĐIỂM

  • Dải tần số rộng có thể hoạt động từ 10k ~ 100kHz ※ 1
  • Cho phép dung lượng lớn hơn bằng kết nối chủ/tớ có thể hoạt động song song tối đa sáu MFU-20K đầu ra
  • DC có thể áp dụng đầu ra của máy phát điện một chiều đầu vào cho catốt trực tiếp ※ 2

ỨNG DỤNG

  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho FPD
  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho lớp phủ công nghiệp
  • Thiết bị phún xạ phản ứng cho TFT màu
  • Tất cả các thiết bị phún xạ

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelMFU-20K
Control power inputRated input voltageAC100V/AC240V
Input voltage fluctuation rangeAC90 to 264V
Phase, frequency1 phase 50/60Hz
Input capacity400VA
Input SpecificationOperatig voltage0 to -1000V※1
Non load voltage-1200V
Operatig current50A
Output SpecificationMaximum rated voltage1000V(RMS)※1
Non load voltageDC-1200V
Maximum Rated current50A
Oscillating frequency10k to 100kHz※2
Duty cycle10 to 90%※3
Cooling methodForced air-cooling
Dimension(W×D×H)483mm×630mm×177mm(excluding protrusions)
Weight37kg
Applicable standardCE/SEMI F47/RoHS

Nhiệt độ hoạt động xung quanh 5 ℃ ~ 40 ℃ (không ngưng tụ)

Môi trường hoạt động: Tránh ánh nắng trực tiếp, nhiệt, bụi, rung và không có khí ăn mòn.

※ 1: Tần số có giới hạn ở điện áp lớn hơn 800V.

※ 2: Đầu ra có giới hạn ở tần số hơn 60kHz.

※ 3: Chu kỳ làm việc bị giới hạn tùy thuộc vào tần số dao động.