ULVAC

BƠM TURBO PHÂN TỬ DÒNG UTM-FW/FH

UTM-FH và UTM-FW là phân tử turbo hỗn hợp sử dụng lực bay từ trường 5 trục và các ưu điểm được kiểm soát và hiện thực hóa bằng kỹ thuật số như hiệu suất cao, độ tin cậy và tiết kiệm năng lượng. Dòng UTM-FH, đã cải thiện tỷ lệ nén cho hydro, là loại áp suất ngược cao và loại nén cao và dành cho các quy trình nhẹ đến trung bình. Dòng UTM-FW là loại dải rộng và dòng chảy cao, dành cho quy trình tải cao và quy trình trung bình ~ cứng.

đẶC ĐIỂM

  • Không có giới hạn khi kết hợp bất kỳ nguồn điện nào và thiết bị chính của máy bơm để thay đổi chiều dài cáp vì sử dụng hệ thống không có khớp nối và hệ thống tự do điều chỉnh.
  • Hệ thống tốc độ thay đổi đánh dấu khả năng thay đổi tốc độ bơm trong vòng từ 25% đến 100%.
  • Xử lý bề mặt chống ăn mòn tuyệt vời. Các phương pháp xử lý bề mặt đặc biệt tùy chọn (ví dụ như mạ niken + lắng đọng điện cation, màng lắng đọng đặc biệt, anod hóa nhôm) có sẵn khi cần thiết.
  • Hệ thống sưởi ấm bên trong tùy chọn để kiểm soát nhiệt độ rôto và giảm độ bám dính của các sản phẩm phụ phản ứng phụ.
  • Thiết kế an toàn với kết cấu hấp thụ năng lượng đứt gãy có thể giảm thiệt hại cho hệ thống chân không khi xảy ra sự cố với máy bơm.

ỨNG DỤNG

  • Máy hút chân không chính của các quy trình từ trung bình đến cứng như khắc khô, hệ thống CVD, v.v.

BẢNG TIÊU CHUẨN

Wide range and high throughput modelsHigh back-pressure and high compression modelsInlet flange sizeN2pumping speed(L/s) *1 *2
UTM-6300FHVG5006300
UTM-3301FWUTM-3303FHVG3503300
UTM-2300FWVG3002730
VG2502230
ICF3052110
UTM-1400FWVG2501490
VG2001360
ICF2531300
UTM-1001FWUTM-1001FHVG2001000
ICF2531000
UTM-800FWUTM-800FHVG150810
ICF203740
UTM-480FWUTM-480FHVG150480
ICF203480
UTM-350FWUTM-350FHVG100350
ICF152330
*1

Giá trị được đo theo tiêu chuẩn JVIS005 hoặc giá trị được tính toán dựa trên nó

*2Lưới bảo vệ không được sử dụng.