ULVAC

ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG PIRANI DÒNG SW1

Đây là một đồng hồ chân không pirani phạm vi rộng, đo từ áp suất khí quyển đến 5 x 10-2 Pa. Ngoài ra, máy đo này loại bỏ các bảng điều khiển và hiển thị khỏi bộ điều khiển truyền thống, chỉ giữ lại các chức năng cần thiết tối thiểu, do đó tiết kiệm chi phí và không gian.

ĐẶC ĐIỂM

  • Cho phép đo từ áp suất khí quyển đến 5 x 10-2 Pa.
  • Kết hợp cảm biến và bộ điều khiển, do đó giảm cáp, tiết kiệm không gian và năng lượng.
  • Hoạt động với đầu vào DC 24V
  • Áp suất là 0 đến 10V đầu ra
  • Xác minh lỗi LED để hiển thị tốt hơn
  • Điều chỉnh áp suất khí quyển và điều chỉnh điểm 0 có thể được thực hiện bằng một lần chạm.
  • Bộ phận cảm biến có thể được thay thế dễ dàng.
  • Đầu ra 2 điểm đặt (SW1-1)
  • Kết nối RS232C / RS485 (chỉ SW1-2)
  • Tương ứng  với CE

ỨNG DỤNG

  • Kiểm soát quy trình trong các quy trình chân không thấp như đối với các hệ thống sản xuất bán dẫn, quang học và các bộ phận điện tử.
  • Kiểm soát quy trình trong các quy trình có phạm vi chân không thấp cho các thiết bị công nghiệp như lò chân không, v.v.
  • Kiểm soát quy trình cho hệ thống chân không thấp, đòi hỏi nhiều buồng xử lý, chẳng hạn như thiết bị xử lý phún xạ nội tuyến và thiết bị xử lý wafer đơn.

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelSW1-1SW1-2
Connectable sensor head1 pc
Compatible sensor headSWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1″)
Measurable pressure range5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
Accuracy*1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
Repeatability1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
Sampling time50ms 5回の移動平均処理
Value outputOutput voltage DC 0 to 10V
Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
(Update time) 50ms
Control input signalOpen collector input, Negative logic
ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)
Control output signal

Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

Error signal
Set point 1, 2
Monitor for setpointSet point 1, 2: 0 to 10V Log output
Serial communication typeRS232C/RS485
LED displayPOWER/ERROR: Power error LED
SET-1: Set point 1LED
SET-2: Set point 2LED
Materal of filamentPt
Operating temperature range10 ~ 40℃
Operating humidity range15 ~ 80% (Not condensing)
IP ratingIP30 (Sensor unit)
Fixing positionFree
Power supply voltageDC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
Input/output connectorD-sub 15-pin (M2.6mm screw) – side sensor unit
Weight150g (with SWP-16)
Dimension (Power supply) W×D×H70mm×46mm×28mm
Standard accessoriesQuick manual
OptionInput/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
Applicable standardCE