| 型号 | PKS-016 | PKS-030 | PKS-070 | |
| 设计抽气速度 | 96m3/h(1600L/min) | 180m3/h(3000L/min) | 420m3/h(7000L/min) | |
| 极限压力*1 | 2.7Pa | |||
| 电机(极数) *2 | 2.2kW(4P) | 3.7kW(4P) | 11kW(6P) | |
| 所需油量 | 6.5L | 8.0L | 20.0L | |
| 油 *3 | ULVOIL R-7 | |||
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | ||
| 冷却水 | 流量 | – | 3L/min | 5L/min |
| 压力 | – | 表压:最大 0.3 MPa | ||
| Outlet/inlet differential pressure | – | 表压:最大 0.1 MPa | ||
| 温度 | – | 5 to 30℃ | ||
| 入口尺寸 | JIS B 2290 | VG50相当 | VG80相当 | VG100相当 |
| 排气口尺寸 | JIS B 2290 | VF50相当 | VF80相当 | VF100相当 |
| 重量(泵+底座) | 225kg | 380kg (仅泵本体) | 900kg (仅泵本体) | |
| 外形尺寸 W x D x H | 590 x 860 x 550mm | 720 x 675 x 897mm | 970 x 942 x 1127mm | |
| 标准附件 | 操作手册、1 台泵用油、电机皮带轮 | |||
| 选配件 | TM-2 油雾捕集器 | TM-3 油雾捕集器 | TM-4 (S) 油雾捕集器 | |
注:
本规格使用 SI 制单位。换算为非 SI 单位如下:
极限压力:2.7 Pa = 2 × 10⁻² Torr;水压:0.3 MPa = 3 kg/cm²
*1 使用皮拉尼真空计测量(使用麦克劳德真空计时约为 1.5 Pa)
*2 订购时请注明是否需要电机,如需要,请注明电机的类型、电压和频率。全封闭风冷法兰电机、增安型法兰电机、防爆法兰电机可作为选配。
*3 可提供其他类型的油,请联系 ULVAC 销售部门。
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