热阴极真空计 ST200 系列

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全新 G-RTAN 系列多离子化真空规是一种可连接不同类型传感头的变换器型产品。该产品为三极管型离子规，由于灵敏度劣化较低，能够在恶劣环境下实现寿命更长、稳定的真空测量。同时继承了长寿命、低运行成本的理念，并进一步提升了用户友好性。

特点

ULVAC 独有理念：可根据应用连接不同量程的传感头。
紧凑：与前一系列相比大幅小型化（控制器体积减少 56%），属世界最小级别。
高可用性：通过连接 PC/Android 可进行设定点设定、状态检查等。
更大选择：除模拟输出和串行通信规格外，还可提供 EtherCAT 规格。
世界首创金属型三极管离子规：即使在恶劣环境下也能实现长寿命，无需担心玻璃型易损坏的问题。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可在离子真空规寿命结束前提前发出警告。
宽范围测量：配合选购单元 SWU10-R，可实现从大气压到超高真空（1×10⁵～1×10⁻⁵ Pa）的测量。
精确大气压检测：配合选购单元 SAU，可进行开腔时的大气压检查。

应用

用于 OLED 触控面板真空设备的极限压力检测或工艺控制。
用于工业真空设备（如真空炉）的极限压力检测。
在富含碳氢化合物的环境中进行测量。
当需要更换传感头周期时使用。

*如使用腐蚀性气体（卤素气体），请联系咨询。

技术参数

型号		ST200-A	ST200-R	ST200-E （计划发布）
类型		模拟输出型	串行通信型	EtherCAT 通信型
适用电离真空计传感头		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可连接传感器		多离子化真空计 ST200: 1 皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R: 1 (选配) 压力传感器单元 SAU: 1 (选配)
重复性 (N₂)		ST200 简单模式: ±2％
采样时间		60 毫秒，5 次移动平均
数值输出		输出电压：0～10 VDC，对数输出：0.75 V/1 decade 压力换算公式： V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新周期		60msec
控制输入信号		FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用开集电极输入，负逻辑工作	–	–
控制输出信号		传感器错误、设定点 1/2/3、发射有效灯丝电功率监控额定值：24V 最大、50mA 最大饱和电压：1V	–	–
通信类型		–	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED 显示		POWER：电源，错误 LED（根据各模式闪烁模式与颜色变化）
发射电流		2mA（1×10⁻² Pa 以下），10μA（1×10⁻² Pa 以上）
脱气方式		电子轰击型：2mA，330V
传感器最大压力		2×10⁺⁵Pa (1.5 x 10⁺³ Torr, 2 x 10⁺³ mbar) (绝对压力)
传感器内部容积		17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
使用温度范围		10 ~ 50℃ (50 ~ 122℉)
使用湿度范围		15 ~ 80% （不凝露）
储存温度		-20 ~ 65℃ (-4 ~ 149℉) (在未通电时，不凝露)
		IP30
电源电压		DC20 ~ 28V ( 纹波、噪声 ≤1%) 功耗低于 8W
输入/输出连接器		D-sub15 针（M2.6 螺钉）
重量		传感单元：約 280g，传感头（SWT-16、SWT-25）：80g
外形尺寸 W x D x H		69mm×63mm×90mm （仅传感单元）
适用标准		CE
可选件	多离子化真空计传感头	SWT-16（NW16）、SWT-25（NW25）接触气体部分材质：灯丝 1、2 – Ir/Y₂O₃ 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 电镀
	皮拉尼真空计	SWU10-R *也可使用前一型号 SPU
	皮拉尼真空计传感头	SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18 管端）、SWP-P15（Φ15 管端）、SWP-CF16（ICF034）接触气体部分材质：灯丝 – Pt，其余 – BS/Ni 电镀、Ni、焊料
	压力开关	SAU (NW16) 接触气体部分材质：SUS316L
	单元电缆	GUC-200P（用于 SWU10-R）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	显示单元	1CH：ISG1(DC24V)
	显示电缆	ST200 与显示单元之间的电缆：2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	连接器	I/O 接口（D-sub15 孔（M2.6mm 螺钉））
	其他材质	测试证书、校准证书

ST200 系列有三种选配模式：
・单一模式：配备多离子化真空规
・组合模式：多离子化真空规 + 皮拉尼真空规（SWU10-R）
・三重组合模式：多离子化真空规 + 皮拉尼真空规（SWU10-R）+ 压力开关（SAU）

模式	ST200-A / ST200-R / ST200-E 简单模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R 组合模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU 三重组合模式
可测量压力范围	1.0×10^-5 ~ 1.0×10⁺¹Pa	1.0×10^{-5 ~}1.0×10⁺⁵Pa	1.0×10^-5 ~ 1.0×10⁺⁵Pa
精度	1.0×10^{-4 ~} 3.0×10⁺⁰Pa： ±10%	1.0×10^{-4 ~} 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10^{+4 ~} 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	1.0×10^{-4 ~} 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10^{+4 ~} 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･基准温度: 25℃)
连接示意图	Hot Cathode Gauge ST200 Series	Hot Cathode Gauge ST200 Series	Hot Cathode Gauge ST200 Series
可测量压力范围示意图	Hot Cathode Gauge ST200 Series 当需要进行“大气压”检查以开启腔体时，可以使用三重组合模式。