多腔式溅射系统 MLXTM-3000N
MLXTM-3000N 凭借卓越的工艺灵活性与可控性， 以及出色的成本性能，满足客户的复杂需求。
特点
- 晶圆尺寸：3 至 8 英寸（75～200 毫米）
- 在无污染环境下通过精确的参数控制，可实现高精度的膜层质量管理。
- 适用于多种工艺，例如厚铝膜、TTH 阻挡金属及多层堆叠薄膜等。
应用
- 适用于功率器件等半导体器件的金属化工艺。
技术参数
技术参数
| 技术参数 | MLXTM-3000N | |
| 配置 | 传送系统 | 六面传送模块 × 1 |
| 模块组成 | 装卸载模块：2 个（或 1 个装卸载 + 1 个除气模块） 工艺模块：最多 4 个 | |
| 晶圆尺寸 | 75mm – 200mm (3 至 8 英寸) | |
| 传送机械手 | 双拾取式真空传送机械手 | |
| 控制系统 | 电脑控制系统 | |
| 适用领域 | 功率器件（正面/背面）、UBM、封装器件、SAW 器件、非标准晶圆形状 | |
| 抽气系统 | 主泵 | 装卸载模块：干泵 传送模块：涡轮分子泵 工艺模块：冷冻泵 |
| 粗抽泵 | 干泵 | |
| 工艺气路 | 最多 3 路 | |
| 极限真空 | 传送模块：1.3 × 10⁻⁴ Pa（1.0 × 10⁻⁶ Torr） 工艺模块：1.0 × 10⁻⁵ Pa（7.5 × 10⁻⁸ Torr） | |
| 电源 | 50/60 赫兹，三相，交流 200V | |
| 冷却水 | 压力 0.2–0.3 MPa，温度 20–25°C，流量 100 升/分钟 | |
| 气体 | 工艺气体：0.05–0.1 MPa（视气体种类而定） 氮气：0.05–0.1 MPa | |
| 压缩空气 | 0.55 – 0.75MPa | |
| 接地 | A级（一类）接地线（不高于 10 欧姆） | |
| 选配 | 支持 3 至 8 英寸晶圆（75–200 mm） | |
| 快门机构 | ||
| 静电吸盘 | ||
| 残余气体分析仪（Qulee） | ||
| 负载锁模块（可选配涡轮分子泵） | ||
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