低加速高密度离子注入机 SOPHI-30
SOPHI-30 是簇式低加速高密度离子注入机，无质量分离器，并支持薄型晶圆。
特点
- 簇式结构
- 兼容薄型晶圆
- 无质量分离器
*优点：
低加速高密度的高吞吐量离子注入机
与传统注入机相比，价格约为一半
占地面积约为传统注入机的三分之一
应用
- 功率器件制造工艺，IGBT
- 晶圆尺寸：最大至 200 mm
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