MÁY CẤY ION MẬT ĐỘ CAO VÀ GIA TỐC THẤP SOPHI-30
SOPHI-30 là máy cấy ion mật độ cao và gia tốc thấp kiểu cụm, không có bộ tách khối và hỗ trợ các tấm mỏng.
ĐẶC ĐIỂM
Loại cụm
Tương thích wafer mỏng.
Không có bộ tách khối lượng
* Thuận lợi:
1) Máy cấy ion thông lượng cao với gia tốc thấp và mật độ cao
2) Giá một nửa so với máy cấy thông thường
3) 1/3 dấu chân của máy cấy thông thường
ỨNG DỤNG
- Quy trình sản xuất thiết bị điện, IGBT
- Kích thước Wafer: Lên đến 200mm
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam