MÁY CẤY ION MẬT ĐỘ CAO VÀ GIA TỐC THẤP SOPHI-30

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / HỆ THỐNG CẤY ION / MÁY CẤY ION MẬT ĐỘ CAO VÀ GIA TỐC THẤP SOPHI-30

SOPHI-30 là máy cấy ion mật độ cao và gia tốc thấp kiểu cụm, không có bộ tách khối và hỗ trợ các tấm mỏng.

ĐẶC ĐIỂM

Loại cụm
Tương thích wafer mỏng.
Không có bộ tách khối lượng
* Thuận lợi:
1) Máy cấy ion thông lượng cao với gia tốc thấp và mật độ cao
2) Giá một nửa so với máy cấy thông thường
3) 1/3 dấu chân của máy cấy thông thường

ỨNG DỤNG

Quy trình sản xuất thiết bị điện, IGBT
Kích thước Wafer: Lên đến 200mm