真空部件

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真空泵

ULVAC 真空泵依托扎实的真空技术基础以及近百年的行业经验开发而成。除油封式真空泵和干式真空泵外，ULVAC 还提供适用于不同领域、工况和应用需求的多种真空泵产品，包括增压泵、隔膜泵和活塞泵等。

除了大功率真空泵之外，我们还生产多种小功率真空泵，以满足客户的不同需求。

我们很自豪能够将数十万台此类产品生产并供应至全球知名品牌的工厂，为客户提供可靠的真空解决方案。

HELIOT900 是由 ULVAC 自主研发和制造的氦气检漏仪，具有超高的检测精度和强大的配置，同时具备大流量抽气能力，具体性能根据不同机型而有所不同。

HELIOT900 提供干式和湿式两种机型，其中干式机型适用于半导体等高洁净度应用，湿式机型则适用于一般工业应用。

此外，该设备采用无线通信技术连接显示器与主机，无需复杂的线缆连接，为用户提供更加舒适、便捷且安心的操作体验。

ULVAC 为电子枪设备、溅射设备及真空蒸发设备提供电源。

“Qulee”（发音为“KLEE”）是 ULVAC 最新推出的用于残余气体分析及工艺过程气体监测的产品。新产品的设计充分融入了来自不同生产线现场工程师的反馈，力求实现最大程度的操作简便性。

即使在较高压力（1 Pa 以下）条件下，Qulee 仍可实现高精度和高分辨率的气体分析。

ULVAC 真空计依托在真空领域积累的丰富经验与先进技术开发而成。

产品涵盖皮拉尼真空计、离子真空计以及超高真空真空计等多种类型。换言之，从大气压到超高真空范围（10⁻¹² Pa），ULVAC 提供覆盖不同工业领域、测量条件及应用需求的完整真空计产品系列。

ULVAC 凭借深厚的技术积累和丰富的专业经验，为客户提供多种真空阀产品。

ULVAC 真空阀适用于从大气压到超高真空的各种压力范围。凭借紧凑的结构设计、优异的密封性能和高精度，ULVAC 真空阀能够满足全球客户在不同应用领域的多样化需求。

真空泵油经过长时间运行后，容易受到水分和杂质的污染，从而导致油液黏度下降。这会影响真空泵的运行性能，并缩短真空泵的使用寿命。

用于过滤油封式真空泵排出的油雾。当油封式真空泵在大气压下启动时，空气会被吸入泵内，并通过排气口排出。同时，一部分油雾也会随气体一起排出。

因此，需要在真空泵的排气口安装油过滤器／油捕集器，以收集并回收排出的油雾，减少油雾向外排放。