冷阴极真空计 SC1 系列
G-TRAN 系列 SC1 为磁控管型冷阴极真空计。 由于不使用灯丝，保证了真空规更换间隔的长寿命。 需要维护，但其维护简便，从而降低了拥有成本。
特点
- 传感器规格
当不需要压力显示时，可实现以下优势：
– 由于取消了显示，真空规成本降低
– 尺寸更小，节省控制面板空间
– 布线减少 - 维护大大简化
- 无灯丝：避免因暴露于大气压而受损
- 控制输出信号：2 个设定点输出
- 输出信号：压力读数为 0～10V 对数输出（非线性输出）
- 电源电压：DC24V 供电
应用
- 用于半导体、光学及电子元件制造的精密真空设备压力范围内的工艺控制
- 用于工业设备（如真空炉）的低真空范围工艺控制
- 用于具有多个工艺腔体的真空系统（如在线溅射和单片加工设备）的压力范围工艺控制
技术参数
| 类型 | 传感单元 | ||
| 型号 | SC1 | ||
| 兼容传感头 | C-21、23、24、25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10-5 ~ 1.0 Pa | ||
| 7.5×10-8 ~ 7.5×10-3 Torr | |||
| 1.0×10-7 ~ 1.0×10-2 mbar | |||
| 精度 | ＋100%,－50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%,－50%（7.5×10-7 ~ 7.5×10-4 Torr） | |||
| ＋100%,－50%（1.0×10-6 ~ 1.0×10-3 mbar） | |||
| 测量值输出 | 非线性输出 0–10 VDC | ||
| 压力设定调节监视 | 非线性输出 0–10 VDC | ||
| 控制输入信号 | HV 开/关 | ||
| 控制输出信号 | 开集电极输出，负逻辑（放电确认 / 设定点动作信号 1/2） | ||
| LED 显示 | POWER, HV, PROTECT, SETPOINT1/2 | ||
| 使用温度范围 | 10–40℃ (50–104℉) | ||
| 使用湿度范围 | 15–80%（无冷凝） | ||
| 电源电压 | DC24V±2V, 150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺钉） | ||
| 重量 | 430g（不含传感头） | ||
| 标准附件 | 输入/输出连接器 1 件 | ||
| 快速手册 1 本 |
＊I/O 和模拟地未与电源地隔离。
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam