卧式直线式溅射系统 SCH系列
SCH系列是用于沉积透明导电膜及其他金属膜的卧式直线式溅射系统，也可用于太阳能电池生产线中的背电极层和阻挡层等薄膜的镀制。
特点
- 在众多量产生产线上已证明具备高可靠性
- 基板尺寸和数量具备高度灵活性
- 沉积速率高并配备高效率阴极
- 适用于多种沉积方式（向下/向上沉积、DC/AC/RF溅射）
- 维护简便易操作
应用
- 透明导电层、背电极、前驱体、太阳能电池用缓冲层
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