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批量式溅射系统 SV 系列

Hệ thống phún xạ chân không dòng SV
立式批量溅射系统。该系列包括用于光盘母盘制作的 SV-200 机型,以及适用于大批量基板加工的转台式机型。

特点

  • SV-4540、SV-6040 和 SV-9045 为转台式机型,可装载大量基板。非常适合中小规模生产,或多种基板类型的小批量生产。
  • SV-200 是专用于光盘母盘镀镍的系统,具有超紧凑设计、全自动运行和高生产效率的特点。

应用

  • 在各种基板上沉积电极膜、绝缘膜或介电膜。

技术参数

 SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
标准抽气系统8-inch 冷冻泵12-inch 冷冻泵12-inch 冷冻泵16-inch 冷冻泵
极限压力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
镀膜方向侧向侧向侧向侧向
膜沉积区域均匀性(静态 / 旋转式)Φ200mm ± 5%L300mm ± 10%L300mm ± 10%L400mm ± 10%
基板加热250°C250°C250°C
控制系统全自动全自动全自动全自动
选配(除 SV-200 外)涡轮分子泵排水冷电极
油扩散泵APC机构
多源同时沉积基板翻转机构
向下沉积反应性溅射
常规阴极 
强磁阴极 
射频蚀刻清洗(SV-4540) 
偏压机构(SV-4540)