批量式溅射系统 SV 系列

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立式批量溅射系统。该系列包括用于光盘母盘制作的 SV-200 机型，以及适用于大批量基板加工的转台式机型。

特点

SV-4540、SV-6040 和 SV-9045 为转台式机型，可装载大量基板。非常适合中小规模生产，或多种基板类型的小批量生产。
SV-200 是专用于光盘母盘镀镍的系统，具有超紧凑设计、全自动运行和高生产效率的特点。

应用

在各种基板上沉积电极膜、绝缘膜或介电膜。

技术参数

		SV-200	SV-4540	SV-6040	SV-9045
标准抽气系统		8-inch 冷冻泵	12-inch 冷冻泵	12-inch 冷冻泵	16-inch 冷冻泵
极限压力		6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa
镀膜方向		侧向	侧向	侧向	侧向
膜沉积区域均匀性（静态 / 旋转式）		Φ200mm ± 5%	L300mm ± 10%	L300mm ± 10%	L400mm ± 10%
基板加热		无	250°C	250°C	250°C
控制系统		全自动	全自动	全自动	全自动

选配（除 SV-200 外）	涡轮分子泵	排水冷电极
	油扩散泵	APC机构
	多源同时沉积	基板翻转机构
	向下沉积	反应性溅射
	常规阴极
	强磁阴极
	射频蚀刻清洗（SV-4540）
	偏压机构（SV-4540）