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簇式溅射系统 SME-200E
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真空溅射沉积系统
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簇式溅射系统 SME-200E
SME-200E 是一种用于研发和生产用途的簇式溅射系统。
特点
基板尺寸可达 Φ200mm。
工艺腔室最多可配置三个。
可搭载多种针对不同应用的工艺模块。
可选配基板加热机构、同步镀膜及旋转镀膜功能。
应用
研发
生产用途