HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI CỤM SME-200E

Home / Sản phẩm / Thiết bị chân không / Hệ thống phún xạ chân không / HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI CỤM SME-200E

SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.

ĐẶC ĐIỂM

Kích thước bề mặt lên đến Φ200mm.
Có thể trang bị buồng xử lý lên đến ba buồng xử lý.
Có sẵn cho các mô-đun quy trình dành riêng cho ứng dụng khác nhau.
Có sẵn cơ chế làm nóng bề mặt, lắng đọng đồng thời và lắng đọng quay vòng.

ỨNG DỤNG

Nghiên cứu
Sản xuất