ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI CỤM SME-200E

SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.

ĐẶC ĐIỂM

  • Kích thước bề mặt lên đến Φ200mm.
  • Có thể trang bị buồng xử lý lên đến ba buồng xử lý.
  • Có sẵn cho các mô-đun quy trình dành riêng cho ứng dụng khác nhau.
  • Có sẵn cơ chế làm nóng bề mặt, lắng đọng đồng thời và lắng đọng quay vòng.

ỨNG DỤNG

  • Nghiên cứu
  • Sản xuất