HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI CỤM SME-200E
SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.
ĐẶC ĐIỂM
- Kích thước bề mặt lên đến Φ200mm.
- Có thể trang bị buồng xử lý lên đến ba buồng xử lý.
- Có sẵn cho các mô-đun quy trình dành riêng cho ứng dụng khác nhau.
- Có sẵn cơ chế làm nóng bề mặt, lắng đọng đồng thời và lắng đọng quay vòng.
ỨNG DỤNG
- Nghiên cứu
- Sản xuất
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam