SME-200E là hệ thống phún xạ kiểu cụm cho mục đích nghiên cứu và phát triển và sản xuất.
ĐẶC ĐIỂM
Kích thước bề mặt lên đến Φ200mm.
Có thể trang bị buồng xử lý lên đến ba buồng xử lý.
Có sẵn cho các mô-đun quy trình dành riêng cho ứng dụng khác nhau.
Có sẵn cơ chế làm nóng bề mặt, lắng đọng đồng thời và lắng đọng quay vòng.
ỨNG DỤNG
Nghiên cứu
Sản xuất
We use cookies on our website to give you the most relevant experience by remembering your preferences and repeat visits. By clicking “Accept All”, you consent to the use of ALL the cookies. However, you may visit "Cookie Settings" to provide a controlled consent.
This website uses cookies to improve your experience while you navigate through the website. Out of these, the cookies that are categorized as necessary are stored on your browser as they are essential for the working of basic functionalities of the website. We also use third-party cookies that help us analyze and understand how you use this website. These cookies will be stored in your browser only with your consent. You also have the option to opt-out of these cookies. But opting out of some of these cookies may affect your browsing experience.