ULVAC Vietnam Representative Office
SME-200Eシリーズ クラスター型スパッタリングシステム
SME-200Eは、研究開発および生産用途向けに設計されたクラスタースパッタリングシステムです。
特徴
- 対応基板サイズ： 最大 Φ200 mm
- プロセスチャンバー構成： 最大3台のプロセスチャンバーを搭載可能
- プロセスモジュール： 各種アプリケーションに対応した専用プロセスモジュールを搭載可能
- 対応機能： 基板加熱機構、同時成膜（コスパッタリング）、回転成膜機構に対応
用途
- 研究開発（R&D）
- 生産（Production）
