紧凑型溅射系统 ACS-4000
该紧凑型溅射系统适用于多层薄膜、复合材料及其他器件的研发，可通过电脑进行自动工艺操作。同时，相较以往机型，可支持更大尺寸的基板（直径4英寸）。
特点
- 通过腔体顶部的铰链法兰实现轻松维护。
- 标配配置3组三英寸直径的LTS阴极，可支持直径4英寸的基板。
- 系统通过电脑自动运行，只需设定工艺配方。
- 适用于多层薄膜或合金薄膜工艺的共焦溅射系统。
- 采用紧凑型电控塔设计，占地空间更小。
应用
- MRAM、磁传感器器件
- 用于电极的分立器件小批量试产
- 新材料的研究与开发
- 多用途试验与经验应用
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