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热辊式真空热处理炉 FHHn 系列

LÒ XỬ LÝ NHIỆT CHÂN KHÔNG ULVAC FHHn
FHH 系列适用于多种用途,例如各种金属的回火、烧结和钎焊。

特点

  • 采用热辊输送系统,通过组合各单元化腔室可实现腔室结构的多重配置。
  • 系统配置可根据工艺和产能选择,例如:准备腔(真空/大气)、预热腔(运行温度 500℃)、加热腔(运行温度 1150℃)、冷却腔。
  • 采用双闸阀设计,各腔室完全隔离,真空/大气环境实现完全隔离。
  • 可根据工艺和产能需求增加单元。
  • 可实现在线工艺流程,如下所示:“装载 → 加热1 → 冷却1 → 加热2 → 冷却2 → 卸载”。
  • 采用六区温控加热器(选配),可实现 1150℃ ±3℃ 的温度均匀性。

应用

  • 真空热处理:各种金属的热处理、钎焊。

  • 烧结:磁体。

技术参数

系统 / 类型306060906150备注
性能
尺寸加热区尺寸 (㎜)宽度300600600 
长度6009001500 
高度500600600 
装载能力 (㎏)230500800含托盘重量
温度最高温度预热600ºC 
加热1200ºC 
运行温度预热500ºC 
加热1100ºC 
温度均匀性预热500±5ºC空载条件下的五点测量
加热1100±5ºC 
加热(特殊)1100±3ºC高温型为可选配置
冷却气体冷却标准型80kPaG可选择 Ar、N₂
加压型190kPaG
真空极限真空标准型约 10⁻¹ Pa 等级在脱气和空载条件下
高真空型约10-3Pa等级
工作压力标准(1)1Pa〜10Pa

(1)低真空模式

(2)载气模式

标准(2)10Pa ~ 100Pa
高真空型10-2Pa ~ 10-1Pa
抽气时间
(min)
装载≤10 分钟从大气压降至 ≤10 Pa(空载)
冷却≤10 分钟
冷却≤10 分钟
漏率
(Pa・m3/s)
装载装载: ≤4×10⁻⁴压力上升法
预热装载: ≤4×10⁻⁴
加热加热: ≤2×10⁻⁴
冷却装载: ≤4×10⁻⁴
公用设施
三腔型(预热 ×1,加热 ×1,冷却 ×1)电源需求 (kVA)210300480一次电源需求
冷却水需求 (m3/hr)12151812 / 15 / 18,温度: 20~30℃
压缩空气需求(Nm3/min)100011001100 
载气需求 (L/min)8080200流量计极限值
冷却气体需求 (m3/times)4912加压冷却条件: 190 kPa
占地面积要求 (m2)8.51012 
8.51013
4.55.85.8
五腔型(预热 ×2,加热 ×2,冷却 ×1)电源需求 (kVA)390425750一次电源需求
冷却水需求 (m3/hr)202530 20 / 25 / 30,温度: 20~30℃
压缩空气需求(Nm3/min)100011001100 
载气需求 (L/min)120160300流量计极限值
冷却气体需求 (m3/times)4911.7加压冷却条件: 190 kPa
占地面积要求 (m2)8.51012 
11.512.517.5
4.55.85.8

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