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碳化硅高温离子注入机 IH-860DSIC

IH-860DSIC HỆ THỐNG CẤY ION
用于量产的离子注入机,配备适用于碳化硅(SiC)的高温静电卡盘(ESC)。

特点

  • 连续高温注入
  • 最高可达 700 keV
  • 通过软件实现连续注入(链式注入)
  • 占地面积小
  • 从研发到量产皆可适用

应用

  • 碳化硅器件