ULVAC Vietnam Representative Office

MÁY CẤY ION NHIỆT ĐỘ CAO CHO SIC IH-860DSIC

Máy cấy ion nhiệt độ cao cho SIC IH-860DSIC của ULVAC để sản xuất hàng loạt với ESC nhiệt độ cao cho SiC, áp dụng ở nhiều lĩnh vực.

ĐẶC ĐIỂM

  • Cấy nhiệt độ cao liên tục
  • Lên đến 700keV
  • Cấy chuỗi bằng phần mềm
  • Dấu chân nhỏ
  • Từ R & D đến sản xuất hàng loạt

applications

  • Thiết bị SiC