批量式溅射系统 SV 系列
立式批量溅射系统。该系列包括用于光盘母盘制作的 SV-200 机型，以及适用于大批量基板加工的转台式机型。
特点
- SV-4540、SV-6040 和 SV-9045 为转台式机型，可装载大量基板。非常适合中小规模生产，或多种基板类型的小批量生产。
- SV-200 是专用于光盘母盘镀镍的系统，具有超紧凑设计、全自动运行和高生产效率的特点。
应用
在各种基板上沉积电极膜、绝缘膜或介电膜。
技术参数
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | ||
| 标准抽气系统 | 8-inch 冷冻泵 | 12-inch 冷冻泵 | 12-inch 冷冻泵 | 16-inch 冷冻泵 | |
| 极限压力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | |
| 镀膜方向 | 侧向 | 侧向 | 侧向 | 侧向 | |
| 膜沉积区域均匀性（静态 / 旋转式） | Φ200mm ± 5% | L300mm ± 10% | L300mm ± 10% | L400mm ± 10% | |
| 基板加热 | 无 | 250°C | 250°C | 250°C | |
| 控制系统 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | |
| 选配（除 SV-200 外） | 涡轮分子泵 | 排水冷电极 |
| 油扩散泵 | APC机构 | |
| 多源同时沉积 | 基板翻转机构 | |
| 向下沉积 | 反应性溅射 | |
| 常规阴极 | ||
| 强磁阴极 | ||
| 射频蚀刻清洗（SV-4540） | ||
| 偏压机构（SV-4540） |
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