批量式溅射系统 SX 系列
SX 系列批量式溅射系统适用于研发用途及小规模生产的溅射加工。
特点
- 通过电脑实现真空抽气和镀膜过程的自动控制。
- 支持共溅射工艺应用（可通过增加电源作为选配项目）。
- 可通过电脑进行数据记录。
应用
- 研究与开发
- 中小规模生产
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