研发用紧凑型溅射系统 CS-L
可根据需求配置多种模块组合：大气式卡匣、单片式、大气传送、真空传送等。 采用紧凑设计，并与控制单元一体化集成。
特点
- CS-L 适用于多种开发测试。
系统通过触控面板进行控制，可实现溅射镀膜、超高真空以及基板传送操作。
应用
- 研发
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