ULVAC Vietnam Representative Office

BỘ PHÚN XẠ NHỎ GỌN ĐỂ NGHIÊN CỨU & PHÁT TRIỂN CS-L

Bộ phún xạ có thể sắp xếp cho nhiều tổ hợp mô-đun khác nhau: Cassette khí quyển, Một mảnh, Truyền khí quyển, Truyền chân không. Thiết kế nhỏ gọn tích hợp bộ điều khiển.

đặc điểm

  • CS-L phù hợp với các thử nghiệm phát triển khác nhau. Hệ thống được điều khiển bởi bảng điều khiển cảm ứng để lắng đọng phún xạ, chân không cực cao và truyền chất nền.

ứng dụng

  • Nghiên cứu & phát triển