ULVAC Vietnam Representative Office
CS-L 컴팩트형 연구개발용 스퍼터링 시스템
대기 중 카세트, 단일 기판, 대기 이송, 진공 이송 등 다양한 모듈 조합으로 구성할 수 있는 스퍼터링 시스템. 컨트롤러가 통합된 컴팩트한 설계
특징
- CS-L은 다양한 연구개발 시험에 적합하며, 스퍼터링 증착, 초고진공(UHV) 및 기판 이송 기능을 터치 패널을 통해 제어할 수 있습니다.
