簇式溅射系统 SME-200E
SME-200E 是一种用于研发和生产用途的簇式溅射系统。
特点
- 基板尺寸可达 Φ200mm。
- 工艺腔室最多可配置三个。
- 可搭载多种针对不同应用的工艺模块。
- 可选配基板加热机构、同步镀膜及旋转镀膜功能。
应用
- 研发
- 生产用途
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