碳化硅高温离子注入机 IH-860DSIC
用于量产的离子注入机，配备适用于碳化硅（SiC）的高温静电卡盘（ESC）。
特点
- 连续高温注入
- 最高可达 700 keV
- 通过软件实现连续注入（链式注入）
- 占地面积小
- 从研发到量产皆可适用
应用
- 碳化硅器件
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