Để tính độ rò rỉ trong một hệ thống chân không, bạn cần thực hiện một số phép đo và áp dụng công thức cụ thể. Dưới đây là quy trình cơ bản để tính độ rò rỉ:
I. Các bước tính độ rò rỉ:
- Chuẩn bị hệ thống:
- Đảm bảo hệ thống chân không ( vacuum furnace, vacuum coating machine) đã được lắp đặt hoàn chỉnh và không có lỗ hổng lớn.
- Kích hoạt máy bơm chân không để tạo ra môi trường chân không tối đa cho hệ thống.
- Đo áp suất ban đầu (P1)
- Sử dụng máy đo áp suất chân không (hoặc dùng chân không kế của hệ thống) để xác định áp suất ban đầu (P1).
- Ghi lại giá trị áp suất ban đầu.
- Xác định thời gian lấy mẫu (t)
- Đóng van chân không cách ly bơm chân không và buồng chân không.
- Khoảng thời gian (t) là từ lúc đóng van cách ly cho tới lúc đo được áp suất P2 ở bước tiếp theo. (t) thường tối thiểu là 1H. (t) càng lớn, độ chính xác của leak rate càng cao.
- Xác định áp suất (P2):
- Sau thời gian t, sử dụng máy đo áp suất ( hoặc chân không kế của hệ thống) để xác định áp suất trong hệ thống (P2).
- Ghi lại giá trị áp suất này.
- Tính độ rò rỉ (L):
- Sử dụng công thức sau để tính độ rò rỉ (L):
Trong đó:
- L là độ rò rỉ ( Pa·m³/s hoặc mbar*l/s )
- V là thể tích của hệ thống (m³)
- P1 là áp suất ban đầu (Pa)
- P2 là áp suất sau thời gian t (Pa)
- t là thời gian đo (s)
Lưu ý:
- Đảm bảo kết quả đo có độ chính xác cao thì thiết bị đo áp suất và thể tích được hiệu chuẩn chính xác đồng thời thời gian lấy mẫu phải đủ lớn.
- Nếu độ rò rỉ lớn, cần kiểm tra lại các kết nối và thiết bị trong hệ thống để phát hiện và khắc phục các lỗ rò.
II. Chọn phương pháp kiểm tra vị trí rò rỉ phù hợp
Để chọn ra phương pháp kiểm tra vị trí rò rỉ phù hợp từ kết quả tính toán, bạn có thể dựa vào mức độ rò rỉ được xác định bằng công thức. Dưới đây là một số gợi ý để chọn phương pháp kiểm tra rò rỉ dựa trên mức độ rò rỉ:
- Rò rỉ lớn
- Kết quả tính toán: Nếu mức độ rò rỉ lớn, áp suất giảm nhanh và lượng khí rò rỉ lớn.
- Phương pháp đề xuất: Kiểm tra bằng bọt xà phòng (Soap Bubble Test). Phương pháp này dễ thực hiện và có thể phát hiện nhanh các rò rỉ lớn.
- Rò rỉ trung bình và nhỏ
- Kết quả tính toán: Mức độ rò rỉ trung bình hoặc nhỏ, áp suất giảm từ từ và lượng khí rò rỉ khá ít.
- Phương pháp đề xuất: Dùng máy kiểm tra rò rỉ bằng khí Heli ULVAC. Tốc độ rò rỉ tối thiểu có thể phát hiện là 5×10-13 Pa·m³/s. Phương pháp này cực nhạy và có thể phát hiện các rò rỉ nhỏ ở những vị trí khó tiếp cận.
Hình ảnh: Kỹ sư kiểm tra rò rỉ hệ thống chân không bằng máy Kiểm tra rò rỉ bằng khí Heli của ULVAC
Lưu ý khi chọn phương pháp kiểm tra rò rỉ
- Tính chính xác: Lựa chọn phương pháp có độ chính xác cao để đảm bảo xác định được vị trí rò rỉ trong hệ thống chân không (vacuum furnace, vacuum coating machine) một cách chính xác.
- Độ nhạy: Đối với các rò rỉ nhỏ, cần sử dụng các phương pháp có độ nhạy cao như kiểm tra bằng khí Heli
- Tiện lợi và an toàn: Đảm bảo các phương pháp được sử dụng an toàn và tiện lợi cho người thực hiện kiểm tra.
Nếu bạn có bất kỳ vấn đề hay câu hỏi nào về rò rỉ chân không, đừng ngại liên hệ ngay cho ULVAC nhé. Chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ mọi vấn đề liên quan. Hot line 0988 248 567 ( Mr Ngọc) hoặc 0936151138 (Ms Hảo).
Please follow and like us:
