ULVAC Vietnam Representative Office
デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K
MFUシリーズ デュアルカソード用バイポーラユニットは、ULVAC製DC電源（DPGシリーズ）に追加接続することで、DC出力をバイポーラパルス出力へ変換するユニットです。低コストで歩留まりおよびスループットの向上に貢献します。
特長
- 10～100kHzの広い周波数範囲に対応 ※1
- 10～100kHzの広帯域で動作可能です。
- マスター／スレーブ接続による並列運転に対応
- MFU-20Kは、最大6台まで並列運転が可能で、大容量システムを構成できます。
- DC電源出力をカソードへ直接印加可能 ※2
- DC電源の出力をカソードへ直接印加できます。
用途
- FPD（フラットパネルディスプレイ）用反応性スパッタリング装置 ( vacuum sputtering)
- 工業用コーティング向け反応性スパッタリング装置
- カラーTFT用反応性スパッタリング装置
- 各種スパッタリング装置
仕様
| Model | MFU-20K | |
| Control power input | Rated input voltage | AC100V/AC240V |
| Input voltage fluctuation range | AC90 to 264V | |
| Phase, frequency | 1 phase 50/60Hz | |
| Input capacity | 400VA | |
| Input Specification | Operatig voltage | 0 to -1000V※1 |
| Non load voltage | -1200V | |
| Operatig current | 50A | |
| Output Specification | Maximum rated voltage | 1000V（RMS）※1 |
| Non load voltage | DC-1200V | |
| Maximum Rated current | 50A | |
| Oscillating frequency | 10k to 100kHz※2 | |
| Duty cycle | 10 to 90％※3 | |
| Cooling method | Forced air-cooling | |
| Dimension（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（excluding protrusions） | |
| Weight | 37kg | |
| Applicable standard | CE/SEMI F47/RoHS | |
標準仕様
- 周囲使用温度：5～40℃（結露なきこと）
- 使用環境：直射日光・高温・粉塵・振動を避け、腐食性ガスのない環境で使用してください。
注記
- ※1：出力電圧が800Vを超える場合、動作周波数に制限があります。
- ※2：60kHzを超える周波数では、出力に制限があります。
