ULVAC Vietnam Representative Office
電源装置
ULVACのPower Generatorは、真空成膜技術を支える各種電子銃および電源装置を提供しています。
DC電源装置
DPGシリーズ
DPG-10/DPG-20は、スパッタリング用途向けの10kW／20kW直流電源装置です。高い信頼性を備えた部品および回路を採用し、優れた安定性と信頼性を実現しています。長年にわたり培ってきた電源技術と豊富なアプリケーション実績を活かした設計により、プラズマ負荷に最適化された高信頼性の電源装置です。
DSCシリーズ
基本性能を重視したDCSシリーズは、優れたコストパフォーマンスを実現し、さまざまな用途に対応しています。さらに、アークサプレッサ「A2K」と組み合わせて使用することで、反応性スパッタリングにおいて優れたアーク抑制効果を発揮し、安定した成膜プロセスを実現します
RF電源およびマッチングボックス
RFS-Nシリーズ
13.56MHz出力、0.5kW／1kW／3kW／5kWのRF電源をプラズマプロセスへ供給します。高効率RFアンプを採用することで、小型・軽量化を実現しています。RF電源には自動整合制御機能を内蔵しており、本体のみでRF出力制御およびマッチングシステムの制御を行うことができます。
