전원 공급 장치

DC 전원 공급 장치

DPG-10/DPG-20은 스퍼터링용 10kW/20kW DC 전원 공급 장치입니다.
신뢰성이 높은 부품과 회로를 사용하여 제작되었으며, 수년간 축적된 전원 공급 장치 응용 기술을 바탕으로 플라즈마 부하에 최적화된 설계를 적용한 고신뢰성 DC 전원 공급 장치입니다

기본 성능이 중요한 과제에 적합한 DCS 시리즈는 뛰어난 비용 대비 성능을 제공하며, 다양한 분야에 활용되고 있습니다. 또한 아크 억제 장치 A2K와 함께 사용하면 반응성 스퍼터링 공정에서 우수한 성능을 발휘합니다.

반응성 스퍼터링 공정에서 A2K형 이상 방전 억제 장치는 DC 전원 공급 장치에 양(+)의 전압 펄스를 인가하여 타깃에 축적된 전하를 중화합니다.

MFU-20K는 ULVAC DC 전원 공급 장치(DPG 시리즈)에 추가하여 DC 출력을 양극성 펄스 출력으로 변환하는 장치입니다. 저비용으로 생산성과 처리량 향상에 기여합니다.

13.56MHz 출력의 0.5kW / 1kW / 3kW / 5kW를 지원하며, 플라즈마 공정에 RF 전력을 공급합니다.

고효율 RF 증폭기를 적용하여 컴팩트하고 가벼운 설계를 실현했습니다.

또한 자동 제어 기능과 매칭 시스템 제어 기능이 통합되어 있어, 본체만으로 RF 전원 공급 장치의 출력 제어 및 매칭 시스템 제어가 가능합니다.